泛林集团推出Dextro协作机器人助力生产效率

12月10日，半导体制造设备巨头泛林集团（Lam Research）宣布推出其创新的协作机器人Dextro，这一机器人专为半导体设备维护设计，能够准确、重复地进行晶圆制造设备的维护，从而显著提升晶圆厂的生产率和安全性。

与传统工业机器人不同，Dextro无需人工干预即可完成维护任务，其精确度和稳定性远超人工操作。在晶圆厂中，设备维护既复杂又繁琐，传统方式不仅容易出错，还可能影响设备的使用寿命和生产效率。Dextro的引入，正是为了解决这些难题，特别是在晶圆厂规模不断扩大、设备种类日益复杂的背景下，协作机器人能够优化维护成本，提升效率并确保维护的一致性。

这款机器人搭载机械臂，能够执行三项关键任务：精确安装和压缩耗材组件、紧固真空密封螺栓以及清除腔内聚合物。其操作精度可大大减少人为错误，提高设备的稳定性，降低生产停机时间。此外，Dextro的安全性也是其一大亮点，它能够在无需重型防护设备的情况下，安全地完成一些危险的清洁任务。

目前，Dextro已在全球多个先进晶圆厂投入使用，有效提升了设备的维护效率，降低了错误率。未来，泛林集团计划将其推广至更多设备领域，为半导体行业的自动化进程助力。三星电子的副总裁也表示，Dextro的成功应用将加速他们迈向自动化工厂的步伐。