OXIDE与JS Fundry合作，推进溶液法碳化硅晶圆技术

日本材料制造商OXIDE与晶圆代工厂JS Fundry宣布达成战略合作，共同开发溶液法碳化硅晶圆技术。OXIDE一直致力于溶液法碳化硅衬底的商业化，预计该方法能生产出比传统升华法更少缺陷、更高质量的碳化硅衬底。

OXIDE强调，为了将溶液法碳化硅功率半导体推向市场，除了衬底技术的研发，构建完整的制造价值链同样重要。特别是抛光和外延工艺，它们直接影响碳化硅功率半导体的性能。因此，OXIDE选择与在功率半导体制造工艺领域拥有丰富经验的JS Foundry合作。

JS Foundry是一家由日本基金Mercuria Investment及并购咨询公司产业创成咨询联合收购美国安森美半导体新泻工厂后成立的晶圆代工企业，专注于模拟功率半导体的加工和制造。

OXIDE近年来积极布局碳化硅领域，2022年2月投资4亿日元建设专注于8英寸碳化硅衬底材料研制的工厂，并在2024年3月于山梨县北杜市新建了衬底的量产线。OXIDE制造的衬底采用名古屋大学的晶体生成技术，可显著减少残次品。

此次合作将促进日本地区产业的协同效应，通过整合双方的技术优势和制造资源，加速碳化硅材料的研发和生产进程，进一步加强企业的市场竞争力。