天科合达斥资5.2亿，深化碳化硅设备布局

天科合达宣布将在碳化硅设备领域加大投资力度，以5.2亿元巨资建设半导体设备产业化基地。

根据“沈阳高新区”官方消息，天科合达成功摘得北方芯谷新建区的首块工业用地，这标志着其半导体设备产业化基地项目正式落地。该项目位于辽宁省沈阳市浑南区的北方芯谷产业园区内，该园区作为集成电路装备及零部件的重要集聚地，将为天科合达提供优越的产业环境和资源支持。

天科合达此次投资的项目将聚焦于碳化硅单晶生长炉、高温CVD真空炉等关键设备的研发与制造，以及半导体设备高温零部件碳化物涂层等终端产品的生产。这一布局不仅有助于提升天科合达在碳化硅设备领域的技术实力和市场竞争力，还将进一步完善其产业链布局，实现从碳化硅衬底到设备的全面覆盖。

值得注意的是，天科合达在碳化硅衬底产能的扩张上同样不遗余力。今年早些时候，其控股子公司深圳市重投天科半导体有限公司在深圳市宝安区启动了碳化硅材料产业园项目，重点布局6英寸碳化硅单晶衬底和外延生产线。而二期项目的环评审批也已获得通过，将进一步扩大天科合达的碳化硅晶体与晶片产能，并建设研发中心以持续优化生产工艺和参数。