ASML最先进EUV要价恐高达230亿

荷商艾司摩尔（ASML）是半导体设备巨头，该公司针对1奈米以下制程，计划在2030年推出Hyper-NA极紫外光机（EUV），韩媒撰文指出，ASML设备成本高昂，可能让台积电、三星与英特尔却步。

根据朝鲜日报报导，ASML昂贵的设备价格，对客户来说是庞大负担，ASML一般常规EUV机器每台约1.81亿美元，新一代的high-NA EUV售价倍增至3.62亿美元，预期Hyper-NA EUV售价可能超过7.24亿美元（折合约237亿台币）。

半导体产业相关人士表示，台积电过去比三星更晚引进EUV设备，台积电透过利用现有设备升级多图案化，减轻引进新设备带来的投资负担。事实上，台积电已多次表示下一代EUV设备太贵，该公司业务开发资深副总经理暨副共同营运长张晓强表示，A16先进制程节点并不一定需要EUV。

率先采用high-NA EUV的晶圆厂英特尔，因购买新一代设备造成庞大成本负担，去年公司代工业务亏损70亿美元，今年第1季也面临创纪录的营运亏损。

ASML则说，Hyper-NA是未来埃米级（angstrom）制程的必要设备，许多公司将采用Hyper-NA EUV，以降低多重图形化制程的风险。