涉EUV光刻光源研究，华中科大与上海光机所联合举办科研项目研讨

集微网消息，华中科技大学光学与电子信息学院副院长唐明、院长助理张金伟等6位导师代表日前赴上海与中国科学院上海光机所联合举办科研项目研讨和联培合作交流会。上海光机所副所长冷雨欣以及双方导师代表和15名联培生参加了本次会议。会议由上海光机所研究生部副主任金黎慧主持。

在科研交流环节，上海光机所超强激光科学与技术全国重点实验室副主任林楠研究员作题为“极紫外光刻光源研究进展”的报告；信息光学与光电技术实验室党支部书记李思坤研究员作题为“面向光刻应用的仿真与检测技术”的报告；超强激光科学与技术全国重点实验室史志勇工程师作题为“LPP-EUV光刻光源的理论模拟研究进展”的报告；光电学院李政言教授作题为“激光等离子体诊断和液滴锡靶”的报告；朱广志教授作题为“高功率大能量固体皮秒超快激光器”的报告；李波副教授作题为“高功率脉冲CO2激光器关键技术”的报告。在场老师对各自的科研领域和前沿进展进行了积极讨论，从交流中碰撞出创新智慧的火花，从探索中寻找到合作共赢的契机。

在随后的华科联培师生交流会环节，唐明老师代表学院领导和老师向同学们问好，鼓励同学们利用好双方的教育和科研资源，在上海光机所抓住机遇、提升能力、勇于担当。联培生纷纷表示在所联培期间的课题都是紧密围绕国家重大项目和需求，深切感受到了所里浓厚的科研氛围，并在高精尖的科研平台开展实验研究，一定会珍惜机会，努力作出好成绩。