八亿时空：已实现KrF光刻胶用PHS树脂及其衍生物百公斤级中试量产

集微网消息，半导体光刻胶树脂作为光刻胶的核心原料，基本被国外垄断，技术壁垒非常高，难度主要在树脂材料的PDI(分散度)和纯度（金杂PPT级别）。

目前，中国本土企业光刻胶的整体技术水平、产品性能及种类与国外龙头企业还存在较大差距，其原料供应企业的本土化率不高是关键因素之一。其中光刻胶树脂的国际市场供应链和先进技术的垄断导致本土企业PR树脂出货难度变大；同时光刻胶树脂企业偏向独家供应或协议供应以保护核心合成技术。

八亿时空长期从事电子级别材料的开发，拥有国内领先的合成能力、纯化技术，尤其对微量杂质分布的分析及纯化处理有独到能力，同时具备强大的对各类有机物的分析能力及先进仪器设备，具备相关的研发优势。

近日，八亿时空在接受机构调研时表示，公司目前已成功实现KrF光刻胶用PHS树脂及其衍生物百公斤级中试量产并取得国内部分光刻胶生产企业窄分布树脂订单，标志着公司光刻胶树脂开发工作迈出了具有里程碑意义的重要一步。公司已开始和下游光刻胶企业进行接洽，今年上半年，与国内大部分能够进行KrF光刻胶量产的企业有一定的业务合作。

据介绍，窄分布树脂和宽分布树脂业务八亿时空均有涉及。窄分布树脂所制成的光刻胶可以用在对于分辨率、图形要求更高的产品中。窄分布PHS树脂相较于宽分布PHS树脂，在光刻胶显影过程中可以增大光刻胶的溶解对比度，进而提升光刻胶的分辨率；多应用于高分辨KrF光刻胶的生产制造。窄分布树脂的定价要比宽分布树脂高一些。

（校对/占旭亮）