道达智能科技首套纯自研12吋半导体OHT天车量产出货

来源:芯智讯发布时间:2023-09-20629浏览

9月16日，由道达智能科技生产的首套纯自研（供电、软件、机构）12吋半导体OHT天车量产出货，本次发货的设备涵盖了OHT（Overhead Hoist Transport，天车）、STK（Stocker，智能晶圆存储设备）、OHB（Over Head Buffer，空中存储装置）、Manual L/P（Manual Load Port，晶圆装卸机）、Lifter（跨楼层垂直输送设备）等多款设备。同时，道达也为该客户提供全栈CIM解决方案。届时，通过工厂信息化和自动化的有效结合和执行，道达智能科技将与客户一道，助力半导体产业提速前行。

在12吋半导体厂中，OHT天车是不可缺少的关键设备。该设备复杂程度高、技术攻关难度大且市场准入门槛高，长期被国外厂商高度垄断，国内市场全部依赖进口。此次纯国产12吋半导体“麒麟”OHT天车量产出货，不仅标志着道达规模化量产能力已跃上新台阶，也是道达坚持“硬科技软实力”核心能力的重要佐证。

此次为客户提供的CIM AMHS解决方案，作为道达首创泛半导体产业最为成熟完善的Matrix 智能工厂生产模式，CIM AMHS构建了智能工厂软硬一体的整体输出，实现了半导体智能制造新的高度。道达运用自研非接触式供电结合自主可控的机构设计，通过成熟稳定的软件调度系统，助力实现智慧FAB效率和良率的提升。

资料显示，道达智能科技(TOTA) 是一家为泛半导体产业提供智能工厂软硬一体解决方案的高新技术企业。公司总部位于南京，服务机构覆盖上海、苏州、西安、北京、成都等城市。2020年与东南大学共建南京东道电子装备技术研究院。依托团队近20年的经验积累，以及持续的核心技术原生研发和创新，打造了泛半导体产业最为成熟完善的Matrix 智能工厂(CIM AMHS)解决方案。

编辑：芯智讯-林子来源：道达智能科技

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