抢攻环境永续商机 资腾SEMICON Taiwan秀肌肉

资腾科技于半导体展，提出绿色制程的多项解决方案。佳世达

佳世达集团旗下罗升子公司资腾科技，于2023 SEMICON Taiwan国际半导体展中，展出最新的产品与技术，提供多项与环境永续相关的解决方案。

资腾展出臭氧水产生器，主要提供晶圆制造过程中，用于晶圆清洗的臭氧水产生设备。UVC-LED式臭氧浓度计，无传统以汞灯为量测灯源的汞污染风险，并可有效减少RCA制程的药剂使用量，能控制并改善环境污染，符合现行ESG 趋势。

另外也展出挥发性有机气体回收装置。资腾指出，此针对VOC溶剂气体进行液化回收，在减少环境危害的同时，降低溶剂购买成本，溶剂回收品质达99.9%，几乎没有液劣化，可重复再利用。资腾与日厂Morikawa合作，为半导体制程提供新解决方案。

至于智能清洁液则是来自德国的intelligent fluids GmbH，提供一种全新的清洁液体概念，借由创新开发的独有配方达到去污、去胶、去光阻等效果。pH值介于5.5~6.5之间，对人体无直接性伤害，产品萃取于自然界物质，亦可于一般废水中排放，被分解于自然环境中。

涡旋型非接触式吸笔则是利用伯努利原理，吸取薄片晶圆防止表面刮伤，并降低晶圆破损的风险，可提高晶圆传送的效率和稳定性。

另外，资腾也展出先进半导体制造的随机性微影图案误差量测与控制解决方案，可有效提高先进制程生产良率。

资腾表示，BL50H雷射尺，结合了高分辨率和高速度的控制磁栅尺。不仅适用于倾斜工作台控制，实现皮米（pm）级的精细控制，亦可作为倾斜工作台的高分辨率倾斜控制传感器，为半导体制程提供更大的灵活性和精准度。

责任编辑：张兴民