思锐智能ALD设备供货英诺赛科 支持8吋硅基GaN晶圆产线扩充

据思锐智能官微消息，日前，青岛四方思锐智能技术有限公司与GaN IDM厂商英诺赛科科技有限公司签订了一项新的ALD设备采购协议。

根据协议，思锐智能将为英诺赛科供应用于氮化镓半导体晶圆制造前道工艺的Transform系列量产型ALD沉积镀膜设备，支持其8英寸硅基氮化镓晶圆产线的扩充。

资料显示，英诺赛科是全球领先的GaN IDM厂商，致力于第三代半导体硅基氮化镓 (GaN-on-Si) 研发与制造，拥有全球最大的8英寸硅基氮化镓晶圆生产能力，产品设计及性能处于国际先进水平，其高、低压全功率氮化镓芯片的累计出货量已经超过2.5亿颗，广泛应用于消费电子、服务器电源、汽车电子及新能源等前沿领域。

思锐智能表示，期待与英诺赛科携手促进氮化镓产业、中国“双碳”目标以及可持续发展。