台积电美国亚利桑那州厂已导入首台EUV

据台媒报道，台积电美国亚利桑那州厂已正式导入当地的第一套极紫外光（EUV） 微影曝光设备。其供应商也在持续招募员工，据统计，当地预计仍有约2,000名相关设备安装工程人员职缺招募中。

按照计划，台积电预计在亚利桑那州投资设立2座先进晶圆厂。其中，第1座预计采用4nm制程技术的晶圆厂，目前已完成硬件建筑，正进行数千台先进及精密设备安装作业，其中包含该厂的第一套EUV微影曝光设备，预计2025年开始正式量产。接下来的第2座晶圆厂预计采用3nm制程的晶圆厂，其建设也在顺利进行中，预计将在2027年完工量产。