晶盛机电：已掌握行业领先的8英寸碳化硅衬底工艺和技术

近日，晶盛机电在互动平台表示，公司已掌握行业领先的8英寸碳化硅衬底工艺和技术，公司通过自有籽晶经过多轮扩径，成功生长出8英寸N型碳化硅晶体，解决了8英寸碳化硅晶体生长过程中温场不均，晶体开裂、气相原料分布等难点问题。公司建设了6-8英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线，通过持续加强技术创新和工艺积累，加快碳化硅衬底材料的发展进程。