陶氏化学Plaquemine厂区发生爆炸：将影响CMP抛光液及光刻胶供应？

来源:芯智讯发布时间:2023-07-16591浏览

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综合多家外媒消息显示，当地时间7月14日晚上9点30分左右，位于美国路易斯安那州伊贝维尔教区(WAFB)、密西西比河沿岸的陶氏化学普拉克明（Plaquemine）工厂发生一系列爆炸，引发了当地的恐慌。

△陶氏化学在路易斯安那州普拉克明厂区。拍摄于 2019 年 3 月 28 日星期四。（图片来源：NOLA.com，摄影：Brett Duke）

△陶氏化学普拉克明工厂发生爆炸（图片来源：网络视频截图）

据伊贝维尔教区警长布雷特·斯塔西 (Brett Stassi)称，当晚该设施内共检测到六起爆炸，居住在附近的目击者拍到了巨大火焰的视频，并表示几英里外都可以感受到冲击波。截至晚上11点，工作人员仍在与火灾作斗争。

当晚，伊伯维尔教区应急准备官员敦促工厂半径半英里内的居民“就地避难”，要求居民留在室内，除非必要，否则不要离开家。直到当地时间7月15日凌晨5点，“就地避难”命令被解除。

陶氏化学路易斯安那运营部发表声明称：“陶氏化学紧急行动中心正在与当地和州机构密切合作，以应对路易斯安那州厂区现场发生的事件。已查明所有人员均安全，空气监测未检测到空气中的有害物质。”至于事故原因，目前还在调查当中。

作为全球半导体级化学品的重要供应商，陶氏化学不仅拥有高纯度化学品产品线，还提供了一系列的光刻材料，包括光刻胶、光刻溶剂光刻辅助剂等。同时，陶氏化学还是全球重要的CMP（化学机械抛光）材料供应商，包括抛光垫、抛光液等。

数据显示，陶氏化学占据了全球17%的光刻胶市场（富士经济数据）、79%的CMP抛光垫市场（Cabot Microelectronics 数据），85%的CMP抛光液市场（SEMI数据）。

因此，陶氏化学工厂爆炸引发了不少半导体业界人士的关注。

资料显示，陶氏在路易斯安那州拥有四个工厂，分别为：普拉克明（Plaquemine）、大海湾（Grand Bayou）、哈恩维尔（Hahnville）和格林斯堡（Greensburg），这四家工厂生产了100多种基本和特种化学品，销往全球。为当地4000多名陶氏和合同员工提供了就业机会，每年为路易斯安那州经济注入超过10亿美元。

其中，此次爆炸涉及的普拉克明（Plaquemine）工厂隶属于陶氏路易斯安那运营部，占地1500英亩，拥有23个生产单位（有报道称是12个生产单位），生产50多种不同的中间和特种化学产品，如氯和聚乙烯，用于生产化妆品、洗涤剂、溶剂、药品、粘合剂、各种包装用塑料、汽车零部件、电子元件等。

据芯智讯查阅相关资料了解到，此次爆炸事件主要发生在陶氏普拉克明厂区的Gylcol 2（乙二醇 2）部门，该部门主要生产强力易燃和高度致癌化学物质环氧乙烷。

资料显示，大部分的环氧乙烷被用于制造其它各类化学品，主要是乙二醇。乙二醇主要的最终用途是生产聚酯聚合物，也被用作汽车冷却剂及防冻剂。其次用于生产乙氧基化合物、乙醇胺、乙二醇醚、亚乙基胺、二甘醇、三甘醇、多甘醇、羟乙基纤维素、氯化胆碱、乙二醛、乙烯碳酸酯等下游产品。

其中，电子级和半导体级乙二醇醚可应用于LCD清洁剂和稀释剂, 半导体清洁剂和稀释剂，光刻胶配方等领域。

目前尚不清楚，此次陶氏化学普拉克明工厂爆炸事件是否会对陶氏化学占据优势地位的CMP抛光液、光刻胶等供应产生影响。个人认为，影响可能很小，不过具体仍有待后续观察。

值得注意的是，在去年4月，同样在陶氏在路易斯安那州普拉克明工厂内，也曾发生过火灾事件，并且发生了氯气泄漏事件。

根据当时的报道显示，当地时间2022年4月18日晚间8点40分左右，位于陶氏化学普拉克明厂区内的奥林化学 (Olin Chemical，2015年3月27日，陶氏化学宣布剥离氯碱业务与Olin合并，交易使得陶氏化学公司获得欧林公司的控股权) 发生火灾，造成了约20多人在30小时内住院，所幸最终没有造成人员伤亡。

而在更早之前的在2016年底和2017年晚些时候的8个月期间，陶氏化学普拉克明厂区内部的Olin工厂发生了3次氯气泄漏，导致一名合同工受伤，并导致员工疏散和道路封闭。

编辑：芯智讯-浪客剑

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