Axcelis：向SiC企业批量出货Purion Power系列离子注入机

7月11日，半导体离子注入解决方案供应商Axcelis Technologies，Inc.（以下简称“Axcelis”）宣布，其向全球领先的碳化硅（SiC）功率器件芯片制造商批量出货Purion Power系列?离子注入机系统。

Axcelis表示，这些出货均在第二季度交付，其中包括为美国一家领先的碳化硅功率器件制造商提供的Purion H200 SiC评估系统，以及为亚洲客户提供的多种收入系统。

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据介绍，交付的Purion Power系列注入机型号包括Purion H200?高电流、Purion EXE?高能量、Purion XE高能量和Purion M?中电流注入器。这些系统将用于支持汽车行业电动汽车（EV）应用的功率器件的大批量生产。其中几个系统是从韩国的Axcelis亚洲运营中心发货。

此前5月，Axcelis宣布，公司向欧洲和亚洲功率器件芯片制造商客户交付了多台Purion H200 SiC Power Series?离子注入系统，并将用于支持电动汽车(EV)应用的功率器件大批量生产。

Axcelis总裁兼首席执行官Russell Low称，由于向电动汽车的过渡，碳化硅功率器件市场继续快速增长。该市场是公司增长的关键驱动力，公司将继续渗透新客户，并扩大其在现有客户中的覆盖范围。公司预计，2023年公司超过55%的系统收入将来自整个功率器件领域。（文：全球半导体观察）

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