瞄准XR商机 Oledon以平面式蒸镀源挑战1万ppi OLEDoS

Oledon挑战以平面式蒸镀源制造1万ppi OLEDoS。Oledon

韩国Oledon拥有在矽基板上蒸镀OLED的OLEDoS技术（OLED on Silicon），OLEDoS可用在延展实境（XR）装置。Oledon拟用平面式蒸镀源（evaporation source）挑战像素密度达1万ppi的OLEDoS。

业界认为，用在XR装置的OLEDoS像素密度必须达到3,000ppi，远高于目前高端OLED手机的500~600ppi，亦即像素必须更紧密排列。据韩媒The Elec报导，Oledon拟用平面式蒸镀源生产1万ppi的OLEDoS。

Oledon蒸镀技术分两阶段。第一阶段是蒸镀有机材料，使圆形的平面式蒸镀源产生有机薄膜。第二阶段对平面式蒸镀源上的有机薄膜再次蒸镀，透过精细金属遮罩（FMM）在矽基板形成像素。Oledon将此技术称为「利用圆形结构平面式蒸镀源的双层FMM蒸镀」制程。

目前的中小尺寸OLED是让沿着线型蒸镀源上升的有机材料通过FMM，将有机材料蒸镀到基板，分子朝垂直以外的各个方向气化，造成有机材料到不了预定位置，产生误镀区域（shadows）。Oledon将蒸镀在平坦金属表面的有机薄膜再次蒸镀，分子以垂直方向蒸发，可让误镀现象减少到最低。

Oledon将蒸镀分两次进行，确保矽基板与平面式蒸镀源可维持一定距离（Target-Substrate distance），解决有机材料使用效率降低的问题。在圆形平面式蒸镀源金属表面挖出多个凹槽，有助于有机材料分子束集中、提高效率，使误镀降到0.1 um，几乎完全消失。

若采用分子束冷凝管透镜（condenser lens）的平面式蒸镀源蒸镀技术，将有机材料分子气体集中蒸镀，OLEDoS元件的像素可达2万ppi。

Oledon成立于2017年，公司代表黄昶勋（音译）2015~2016年任职于Sunic System。Sunic System为韩国知名的蒸镀机公司。

责任编辑：陈至娴