电科装备实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖

集微网消息，科技日报报道，中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖。

报道指出，离子注入机是芯片制造中的关键装备，28纳米则是当前芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现28纳米工艺制程全覆盖。

电科装备系中国电子科技集团旗下企业，已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系，产品涵盖逻辑、存储、功率器件、传感器等工艺器件，百台设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线，累计流片量超2000万片。（校对/刘沁宇）