国产高纯化学品、光刻胶领军企业，晶瑞电材、瑞红苏州重磅亮相SEMICON China 2023

集微网报道，众所周知，半导体材料是集成电路产业的三大战略基础支柱之一，也是全球科技竞争最为激烈的领域之一。

因此，中国半导体材料的崛起对于国内集成电路产业的发展至关重要，经过数十年的追赶和创新，中国半导体材料行业在高纯化学品、靶材、CMP材料、电子气体、光刻胶等领域已经取得一定成绩，并诞生了晶瑞电材、江丰电子、安集科技等一批明星企业。

6月29日-7月1日，SEMICON China 2023在上海新国际博览中心圆满举办。作为国内微电子化学品龙头，晶瑞电材与旗下子公司瑞红苏州受邀参加了这场半导体行业的年度盛会，并通过展台展示、技术交流等方式，全方位展示了高纯化学品、光刻胶两大产品线，吸引了众多行业知名企业客户莅临参观。

高纯化学品：跻身国际先进水平，主导产品达到G5等级

资料显示，晶瑞电材是一家电子材料的平台型高新技术企业，围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向，主导产品包括高纯化学品、光刻胶、锂电池材料、工业化学品及能源等，广泛应用于半导体、锂电池、显示面板和光伏太阳能电池等行业。

在本次展会上，晶瑞电材带来了高纯化学品、光刻胶两大产品线，其中高纯化学品的王牌产品包括双氧水、硫酸、氨水、BOE、硝酸、盐酸、TMAH等。

据了解，高纯化学品亦称为湿电子化学品，其质量好坏直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性，是半导体、显示面板和LED、太阳能光伏等产业不可或缺的重要支撑材料。

为了规范技术标准，1975年SEMI（国际半导体设备和材料协会）将湿电子化学品划分为G1-G5五个等级，其中G5等级的湿电子化学品要求最高，G1等级的湿电子化学品要求最低。

当前我国集成电路产业正处于快速发展的阶段，但国内湿电子化学品主要供应光伏市场、平板显示市场和6寸以下半导体市场，基本集中在G3及以下水平，用于8英寸以上半导体市场的高纯化学品仍严重依赖进口。

值得一提的是，晶瑞电材已跻身国际先进水平，其高纯系列主流产品全线达到了最高纯度G5等级，成为全球范围内同时掌握半导体级高纯双氧水、高纯硫酸、高纯氨水三项技术的少数领导者之一，同时建成了高纯硫酸、高纯双氧水两大高纯电子化学品国内最大产能之一，部分产品打破国外技术垄断全面实现国产替代，成为中芯国际、华虹宏力、长江存储、合肥长鑫等头部芯片制造企业的主供应商；除了超纯双氧水、超纯氨水及超纯硫酸等主导产品已达到G5等级外，公司的其它小批量高纯化学品均普遍达到G3、G4等级。

近年来，伴随着中美贸易摩擦持续，高纯化学品长期依赖进口的问题亟待解决。晶瑞电材作为国内高纯化学品的领军企业，无论是技术实力、产能规模，还是市场认可度均达全球同行业第一梯队水平，有望在国产替代的浪潮中，实现跨越式发展。

光刻胶：规模生产近30年，积极发力高端产品

在众多高纯化学品中，半导体光刻胶是业界公认技术门槛最高的微电子化学品之一，属典型卡脖子材料，高端市场长期被日系JSR、信越化学、东京应化等少数公司所垄断，是半导体国产化的一道大坎。

瑞红苏州是晶瑞电材旗下专注于光刻胶及其配套试剂的专业化子公司，其成立于1993年，已规模生产光刻胶近30年，是国内最早规模量产光刻胶的几家企业之一，也是光刻胶国产化的重要力量。

在本次展会上，瑞红苏州带来了半导体光刻胶、显示面板光刻胶两大产品线，其中半导体光刻胶的王牌产品包括紫外宽谱光刻胶、g线光刻胶、i线光刻胶、KrF光刻胶等，显示面板光刻胶的王牌产品包括触摸屏光刻胶、TFT-LCD光刻胶等。

作为国内光刻胶行业的领军企业，瑞红苏州承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目，其i线光刻胶已向国内中芯国际、合肥长鑫等知名大尺寸半导体厂商供货，KrF光刻胶已量产并供应市场。

为实现高端光刻胶的“国产替代”，近年来，瑞红苏州建成了具有国际水平的高端光刻胶生产线和测试实验平台，同时拥有紫外宽谱、g线（436nm）、i线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）全系列光刻机测试实验平台。

2020年，瑞红苏州启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目，并于2020年下半年购买了ASML 1900 Gi 型光刻机及配套设备，于2021年下半年购入了尼康 KrF S207光刻机及配套设备，已建成ArF、KrF光刻实验室。该研发项目系由公司牵头发起的超大规模集成电路用高端光刻胶技术攻关及产业化工程的攻关任务之一，旨在通过自主研发，打通ArF、KrF光刻胶用树脂的工艺合成路线，研发满足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻胶以及国内用量最大的KrF光刻胶，满足当前集成电路产业关键材料市场需求。目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中，KrF高端光刻胶部分品种已量产。

在展会现场，上述重磅展品为晶瑞电材和瑞红苏州的展台吸引了众多参会者驻足停留，晶瑞电材和瑞红苏州也充分地向产业链上下游厂商展示了自身先进的技术、优质的产品及深入的行业洞察，成为SEMICON China 2023的重要亮点。