Gigaphoton将投资50亿日元建厂，生产DUV光刻机核心设备光源

集微网消息，据日经中文网，日本公司Gigaphoton将投资50亿日元在日本建设新厂房，生产DUV（深紫外）光刻机的核心设备光源，目前工厂建设正在进行中。

Gigaphoton公司是日本最大工程机械企业小松的子公司，其在光刻机光源设备中占据高达50%的市场份额，多年来一直向ASML供货。该公司由于掌握DUV光源这一先进技术，营业利润率约20%，甚至超过了母公司小松，目前公司估值达到3000亿日元。

据悉，如果Gigaphoton的新厂房在2023年内竣工，那么该公司的产能将提高至2020年财年的将近2倍，进一步扩大对荷兰ASML的供货。目前ASML独占EUV极紫外光刻机市场，但Gigaphoton认为DUV深紫外光刻机产品仍有增长空间，后者常用于7nm以上制程工艺。

集微网了解到，Gigaphoton公司营业收入在2022财年为585亿日元，在DUV光源领域，该公司与ASML旗下的美国公司Cymer平分市场。Gigaphoton计划到2030年，获得DUV光源60%的市场份额，营业收入达到1000亿日元，营业利润率25%。

（校对/赵月）