韩国材料自主再下一城 SK Materials开发出ArFi光阻剂

SK Materials成功开发出ArFi光阻剂。ArFi光阻剂是半导体核心材料，市场被日本业者主导，这次SK Materials与韩国政府研究机构合作取得成果，对韩国业界具有特别意义。SK Materials预估，2024年光阻剂事业可开始创造营收。

据韩媒Ddaily报导，SK Materials与纳米综合技术院（NNFC）合作，成功开发ArFi光阻剂，可用于半导体曝光制程，由折射率较高的液体替代空气做为媒介，提高曝光的分解能，比乾式产品有更高评价。

东京应化工业（TOK）、住友化学（Sumitomo Chemical）、JSR等业者在光阻剂市场拿下超过90%市占，堪称日本业者的天下，三星电子（Samsung Electronics）与SK海力士（SK Hynix）不得不向日本业者采购。因此2019年日本政府突然实施战略物资出口管制，曾引起韩国业界譁然。

NNFC是隶属于科技资通讯部（MSIT）的政府研究机构，拥有主要半导体机台设备，支持韩国企业进行研发。2年前NNFC开放12寸晶圆测试平台，截至2022年底已执行81家业者3,444件研发计划。SK Materials也是利用NNFC的12寸晶圆测试平台，成功开发出ArFi光阻剂。

SK Materials表示，因为有NNFC的测试平台，得以省下400亿~500亿韩元（约3,112万~3,890万美元）的研究产线建置费用；除了光阻剂，持续发展其他半导体原物料国产自制，顺利取得成果。NNFC拥有ASML等知名大厂的曝光设备。

ArFi光阻剂的主要原料有：树脂（决定光阻剂溶解特性）、光致产酸剂（PAG）（吸收光线产生酸）、TC-Less添加剂（提高光阻剂表面疏水性减少缺陷）等。

SK Materials开发出的ArFi光阻剂，正在接受国内外半导体客户的效能评估。其光阻剂事业可望从2024年开始产生营收，预估营收为2024年113亿韩元、2025年276亿韩元、2026年417亿韩元，金额逐年成长。其中，SK Materials可能有50%产量会销往SK海力士。