加速拓展碳化硅市场，Axcelis宣布新交付多台SiC离子注入机

集微网消息，据外媒报道，美国离子注入设备制造商Axcelis公司日前宣布，向欧洲、亚洲客户交付了多台该公司Purion H200 SiC Power Series离子注入系统，并将用于支持电动汽车(EV)应用的功率器件大批量生产。

该公司总裁兼首席执行官Russell Low评论说：“功率器件市场继续快速增长，是我们全球增长的关键驱动力。我们很高兴继续通过我们市场领先的Purion Power系列离子注入机支持我们客户的晶圆厂产能扩张。”

根据报道，功率半导体市场已经成为Axcelis主要营收驱动力，包括用于碳化硅制造的中束流离子注入机等系列产品，来自功率半导体厂商，尤其是碳化硅制造商的订单有望贡献该公司55%的营收。