国产化率只有2%的半导体量测设备

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中科飞测专注于半导体检测和量测两大品类设备，主要包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

量测与检测设备，是芯片制造（前道工序）良率保证的核心，国产化率低到不可想象，基本被科磊、 应用材料、日立等美日厂商垄断。

中国半导体量检测设备市场格局（亿美元）

半导体量/检测领域，经过了多年的国产化推进，我们的国产化率终于达到了2%！国内涌现了一大批涉及量检测设备的企业，比如中科飞测、精测电子、睿励仪器、昂坤视觉、御微半导体、魅杰科技等一批优秀国产企业，从检测和量测不同应用场景切入，逐步实现国产替代。（17家国产半导体量检测设备厂商列表请见文末）。

半导体量检测设备项目的关注点：

一个是产品的类型，是量测，还是检测；量测主要关注尺寸数据，涉及膜厚量测、关键尺寸量测、套刻误差量测、其它（刻蚀深度、翘曲度、形貌等）……检测主要关注的是缺陷（污染、表面划伤、开短路等），涉及无图案缺陷、有图案缺陷、宏观缺陷、掩模版缺陷等。每种量/检测类型，都会对应一系列产品品类，所以不同产品类型的公司，需要区别对待。

一个是产品线覆盖广度，产品品类是聚焦还是一专多强，切入的是半导体还是泛半导体，是芯片代工、封装代工、显示面板还是其他精密制造领域，是一代半导体硅、二代半导体砷化镓/磷化铟，还是三代半导体碳化硅/氮化镓，每个领域代表着迥异的市场规模。

一个是关键技术、指标和核心部件，表面看上都是检测量测，设备也并不是简单的零部件堆叠，涉及光学、AI大数据检测算法、软件、自动化控制等多项跨领域技术，一些核心关键零部件（运动控制、光学系统）还需要自我设计、代工厂定制，需要关注的方面包括光学检测技术分辨率、设备检测速度和吞吐量、图像信号处理算法能力。分辨率的提升，应对的是芯片工艺制程的不断升级，需要匹配短波长的光源以及更大数值孔径的光学系统；设备检测速度和吞吐量，决定的是产线的工作效率，同时也决定了产线的投入产出成本；图像信号处理算法能力可以大大提升缺陷检测和量测的精度，客服光学分辨率的瓶颈。

最后是市场和客户导入进展，众所周知，半导体设备，特别是前道环节，下游客户对于新进入者的产品容纳度非常低，因此导致客户导入期过长。创业公司的产品需要重点关注下游客户的导入情况，对应产线的类型和先进程度，是否通过客户的验证，验收通过是取得客户认可的最关键节点。

在市场规模方面，检测设备占比62.6%，量测设备占比33.5%。全球每年前道量测设备销售总额为76.5亿美元，其中检测设备占比为62.6%，量测设备占比为33.5%。

目前半导体量检测领域，已经涌现了十几家企业，从不同的角度切入市场，并且获得了下游客户的验证认可，并且进入量产线。国产替代，是一个循序渐进的过程。目前过厂商主要包括：

作者简介：步日欣

创道硬科技创始人，北京邮电大学创业导师、经管学院特聘导师、天津市集成电路行业协会顾问。电子工程本科、计算机硕士学位，具有证券从业资格、基金从业资格，先后就职于亚信咨询、中科院赛新资本、东旭金控集团等，拥有IT研发、咨询、投融资十五年以上经验，关注投资领域为半导体、智能制造、新能源等。

——创道硬科技研究院——

创道（北京）咨询顾问有限公司，专注于服务风险投资机构和科技成长型企业，聚焦“硬科技”领域，涵盖半导体、信创、人工智能、物联网、智能制造、云计算、大数据等。打造“创道硬科技研究院”、“创道硬科技生态圈”、“创道硬科技融服务”三大业务板块，科技研究、产业协同、投融资服务一体化平台，涵盖业务包括风险投资、科技深度研究、投融资咨询等。

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