关于工艺气体、芯片清洗液

何谓工艺气体？

在半导体制造的成膜工序、蚀刻工序等多道工序中，均使用被统称为工艺气体的惰性气体、特殊气体等。
根据气体种类，SUS304等不锈钢材料也可能会被腐蚀。

＜工艺气体示例＞

甲硅烷四氯硅烷四氟化硅氟利昂-116五氟化磷三氢化砷乙矽烷氟利昂-218氟利昂-32六氟化钨磷化氢三氟化硼溴化氢一氧化二氮氟利昂-22乙硼烷三氯化硼氯三氯硅烷氟利昂-123锗烷氯化氢三氟化氯四氯化钛
二氯硅烷氨氟利昂-14氟化氢
硒化氢三氟化氮氟利昂-23三氟化磷

何谓芯片清洗液

为清除异物及微量杂质，有使用特殊清洗液清洗芯片的工序。
芯片清洗液中使用了SPM（硫酸过氧化氢水溶液）、FPM（氟酸过氧化氢水溶液）等溶解不锈钢等金属的物质。

＜清洗液示例＞
SC-1（氨过氧化氢水溶液）
SC-2（盐酸过氧化氢水溶液）
SPM （硫酸过氧化氢水溶液）
FPM （氟酸过氧化氢水溶液）
BHF （缓冲氟酸溶液）

NBK备有耐腐蚀性优异的耐药性螺丝

在接触工艺气体和芯片清洗液的环境中也可以放心使用。
耐药性螺丝的全部产品系列请看这里
※耐药品性会根据使用条件而变化。请务必事先在与实际情况相同的使用条件下进行试验。

耐药性螺丝

金属系列

材质钽MAT21哈氏合金C-22代表产品名称内六角螺栓（钽）内六角圆柱头螺栓
(MAT21)内六角圆柱头螺栓
(相当于哈氏合金 C-22)代表型号SNSTASNSMTSNSH-C22

材质哈氏合金C-276镍铬合金纯镍代表产品名称内六角圆柱头螺栓
(相当于哈氏合金 C-276)内六角圆柱头螺栓
(相当于镍铬合金)镍制
内六角圆柱头螺栓代表型号SNSH-C276SNSISNSN

材质SUS316LSUS310S钛合金代表产品名称内六角圆柱头螺栓
(SUS316L)内六角圆柱头螺栓
(SUS310S)高强度钛合金
内六角圆柱头螺栓代表型号SNSLSNSJSNSTG

陶瓷、树脂系列

材质碳化硅（SiC）AI203(氧化铝99.5%)PEEK GF30(含有玻璃纤维的聚醚醚酮)代表产品名称切口盘头小螺钉
(碳化硅)陶瓷
内六角圆柱头螺栓树脂螺丝(PEEK GF30 /内六角圆柱头螺栓)代表型号SICX-SXSCX-CSPEG-C

材质PEEK（聚醚醚酮）PTFE(聚四氟乙烯)全氟烷氧基代表产品名称树脂螺丝(PEEK/十字槽盘头小螺钉)树脂螺丝(PTFE /六角螺栓)树脂螺丝(PFA /六角螺栓)代表型号SPE-PSPT-HSPFA-H

材质AI2O3(氧化铝99.5%)PTFE(聚四氟乙烯)SUSXM7(相当于SUS304)SUSXM7(相当于SUS304)PTFE涂层(仅头部)代表产品名称盖帽盖帽盖帽用螺栓六角螺栓(头部PTFE涂层)代表型号SCAP-CESCAP-PTSNCPSSNHS-HTF

※请将盖帽（SCAP-CE 或 SCAP-PT）和盖帽用螺栓（SNCPS）组合使用。