剑指7纳米！俄罗斯自研光刻机，能成吗？
来源:芯师爷发布时间:2023-05-041210浏览
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据俄罗斯媒体报道称，为了推进自研光刻机进度，俄罗斯方面将为两大白俄罗斯微电子领域项目提供约100亿卢布（约合人民币8.8亿元）信贷支持，受资助企业包括集成电路成套工艺领域的Integral和精密光刻设备领域的Planar。
图源：ASML
资料显示，Planar公司（KBTEM-OMO）是东欧最大的半导体设备供应商，已有50余年的半导体设备研发与制造历史，其产品包括基于激光直写的图形发生器、掩模检测设备、掩模修补设备、接近/接触光刻机、投影光刻机与硅片检测设备等。
白俄罗斯方面还透露，已经签署了关于建立两国光掩模开发和生产联合中心的协议，“这将使我们能够开展联合开发工作，并减少白俄罗斯和俄罗斯消费者对进口供应的依赖”。
实际上，早在2022年10月，俄罗斯大诺夫哥罗德策略发展机构就曾宣称，俄罗斯科学院旗下应用物理研究所将会在2028年开发出可以生产7纳米芯片的光刻机，该设备将采用紧凑型11.3纳米光源（商用EUV光源为13.4纳米），“效率将比ASML的设备高1.5-2倍”。
大家对此怎么看？能成吗？
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