寿命延长500%！国内SiC又有新突破

最近，国内碳化硅领域接连有2项设备技术突破，涉及碳化硅粉料设备及石墨涂层设备。

连城数控：

SiC粉体炉取得突破

4月13日，连城数控官微称，中国有色金属工业协会近日组织专家组对该公司开发的“碳化硅立式感应合成炉”科技成果进行评价。

会上，专家一致认为该碳化硅粉料合成设备提升了碳化硅合成粉料的品质，提高了单次合成的重量，降低了单位能耗，减少了制造成本，促进了我国碳化硅高端装备的升级换代。

据介绍，连城数控半导体晶体事业部团队开发了业内最大的碳化硅粉料合成炉，粉体纯度达到国内一流水平。其团队研发的大尺寸合成炉及其热场，能精确控制轴向温度梯度和径向温度的均匀性，解决了传统的碳化硅粉体合成炉装载量少，得率低等问题，使得反应更加充分，解决了工艺稳定性问题。

同时，该公司设计的独特的坩埚及涂层，能够减少坩埚杂质的污染，提升坩埚的寿命，提高碳化硅粉体的纯度，通过工艺优化，可以同时兼容合成导电性和半绝缘碳化硅粉体。

除碳化硅粉体合成炉外，连城数控的液相法碳化硅长晶炉也于今年3月顺利下线，经检验各项性能达到预期目标。同时，连城数控的碳化硅感应炉也于今年一季度获得某重点客户190台订单。

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武工大：

SiC涂层设备取得突破

2月2日，长江日报发文报道了武汉工程大学材料科学与工程学院教授赵培及其团队的化学气相沉积法制备技术开发研究，这项技术已被石墨涂层企业广泛应用。

根据武汉工程大学材料科学与工程学院官网，2020年6月，该团队研制出具备自主知识产权的智能化学气相沉积设备。

值得注意的是，该设备创新性地解决了目前化学气相沉积方法中固体原料蒸发罐供给系统在工业应用中无法长时间提供精确、持续、稳定的原料蒸汽的难题，能大幅提高碳化硅涂层的沉积速率、精准控制原料的成分比例、能实现沉积过程的全自动化操作。

目前，该技术与装置已在一些企业和研究院所得到广泛应用，用于制备碳化硅涂层。据介绍，某企业的石墨模具只能使用8次，使用赵培团队的技术后，石墨模具使用寿命增加到42次，大大延长了使用寿命，使用寿命提升了5倍以上，有效降低生产成本。

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