荷兰最新出口管制将禁止ASML三种型号DUV对华出口

集微网消息，荷兰本周宣布将对半导体技术和设备出口实施更多管制，知情人士透露，这项计划将阻止ASML向中国出售另外三种型号的深紫外（DUV）光刻机。

彭博社引述知情人士说法，荷兰的最新限制措施可能影响包含TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i和NXT:2100i的出口，上述型号都属于浸没式DUV设备。由于这些即将出台的法规，ASML将需要申请出口许可证才能装运最先进的浸没式DUV系统。

根据官网公布的产品信息，ASML在售的浸没式DUV光刻机主要有三大型号：TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:1980Di。

ASML本周三（8日）表示，虽然没有取得政府公开声明以外有关最新出口管制的其他信息，但据该公司解读，最新禁令可能包含TWINSCAN NXT:2000i以及后续推出的浸没式DUV设备。

因美国施压，荷兰政府从2019 年开始禁止ASML向中国出口最先进的极紫外光刻（EUV）设备，但此前仍可销售上一代的DUV设备。

昨日有消息称，荷兰政府尚未确定对中国芯片技术出口的新限制的关键细节，包括ASML是否被允许为已在中国销售的光刻机提供服务。

（校对/李梅）