Amtech预订第20台SiC晶片清洗系统

Entrepix OnTrak系统专为100-200mm晶圆配置的化合物半导体设计

包括热处理、晶片抛光和清洁在内的设备制造商Amtech Systems宣布预订第20台新的OnTrak双面晶片洗涤系统，该系统用于SiC制造应用。

该预订来自北美现有的Entrepix OnTrak客户，将于2023财年下半年发货。之前与SiC相关的晶圆清洗系统订单来自欧洲、亚洲和北美的几个客户，其中最大的安装基地分别位于欧洲和北美。

新型OnTrak双面洗涤器适用于化合物半导体应用，配置100-200mm晶圆，并可容纳具有定制设计载体的更小晶圆。

Amtech systems首席执行官Michael Whang表示：“Entrepix是进入SiC市场的先行者。甚至在开发新的OnTrak双面晶圆洗涤器之前，他们就向这些晶圆厂运送了许多经过翻新的晶圆清洗系统。第20台用于SiC加工的新型OnTrak双面洗涤器的预订显示了Entrepix在这一重要细分市场的地位，”Whang补充道。