2022年苏锡常首台套重大装备拟认定名单公布，含半导体设备

集微网消息，2月27日，2022年苏锡常首台（套）重大装备拟认定名单公示。

其中，苏州市包括京创先进的AR9000全自动精密划片机、芯梦半导体的XM-ENEPIG-12-21全自动化学镀镍钯金系统设备（Cu）、源卓光电Diss-35ML阻焊线路直写光刻设备连线、苏大维格的MiScan200UV激光直写系统等30个装备；无锡市包括拉普拉斯的低压化学气相沉积水平镀膜系统（LPCVD）、邑文电子的高产能低消耗等离子多晶硅刻蚀机2000ICP、奥特维的半导体铝丝键合机等20个装备；常州市包括柯泰光芯的VCSEL 芯片综合测试系统等20个装备。

（校对/赵碧莹）