〈台积电ESG〉携手供应商以磷肥废料替代萤石 打造绿色氢氟酸

晶圆代工龙头台积电 (2330-TW)(TSM-US) 因应原物料需求随着产能增加持续成长，为确保制程关键材料氢氟酸稳定供应，并友善环境，携手供应商以磷肥废料替代萤石，在不影响原有制程品质的前提下成功产制氢氟酸，导入 12 吋晶圆厂区，预计全面导入后一年可减碳逾 2 万公吨。

截至 2 月，相关技术已导入晶圆十二 A 厂、晶圆十五 A 厂，减少萤石用量、减碳 317 公吨，其他十二吋晶圆厂区亦同步进行试产，预计全面导入后一年可减碳逾 2 万公吨，相当于 58 座大安森林公园 1 年的二氧化碳吸附量，持续创造资源循环价值。

氢氟酸是半导体湿式蚀刻制程的重要化学品，一般以萤石为原料，因取得不易且精炼程序繁复，产制过程较难降低碳排放量。

台积电 2021 年起与供应商合作，投入氢氟酸替代原料可行性研究，利用磷肥产制过程衍生的废料─氟矽酸搭配硫酸进行化学反应后产制氢氟酸，且为使品质符合半导体制程标准，除辅导供应商提前于进料阶段即提供品质保证证明外，同时协助其开发独立产线进行测试，经反复调整以达制程最适化。

台积电积极辅导供应商扩大使用磷肥废料产制氢氟酸，预计明年底完成第二条独立产线后，可再降低萤石用量，总计减碳逾 4 万公吨。

除精进原料品质，台积电也持续寻求永续使用的改善机会点，由品质暨可靠性组织持续与各厂合作，进行电子级硫酸及电子级异丙醇内循环再利用、氢氟酸气体废料再制氟气的评估，同时辅导供应商开发相关技术，朝资源永续再生的目标迈进。