上海新阳：公司KrF光刻胶已批量化生产销售

集微网消息，近日，有投资者提问上海新阳：合肥基地一期1.7万吨半导体工艺材料新产能投产了吗？

上海新阳1月28日在互动平台表示，合肥新阳项目两期并行，目前尚未投产。

据了解，上海新阳已经拥有完整自主可控知识产权的电子电镀和电子清洗两大核心技术，电子光刻及电子研磨核心技术正在形成。上海新阳聚焦于集成电路关键工艺材料业务，已建设上海厂区产能1.9万吨/年，合肥第二生产基地一期1.7万吨/年的产品产能将突破上海新阳现有产能瓶颈，为进一步加大国产替代速度奠定基础。

对于KrF、ArF、EUV各类芯片半导体光刻胶新产品进展情况，上海新阳表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。