【一周招/中标】上海积塔新增设备招标53台，中科飞测新增中标设备1台，应用材料新增中标设备3台

集微网消息，本周，上海积塔新增设备招标53台，芯未半导体新增设备招标2台，中车时代半导体新增设备招标1台，无锡光子芯片联合研究中心新增设备招标1台；中科飞测新增中标设备1台，开悦半导体新增中标设备1台，应用材料新增中标设备3台，KLA新增中标设备2台，SPTS新增中标设备1台。

重要招标数据：

本周招标57台设备，其中，刻蚀设备10台，薄膜沉积15台，工艺检测3台，CMP 1台，热处理2台，涂胶显影1台，其他设备25台。

重要中标数据：

本周中标23台设备，其中，光刻设备1台，薄膜沉积3台，工艺检测4台，离子注入2台，热处理4台，涂胶显影1台，其他设备8台。

本周重点企业动态：

近日，华虹半导体拟成立12英寸晶圆制造合营企业，注册资本增至40.2亿美元；燕东微在互动平台表示，2023年实现12英寸线的量产，2025年实现12英寸线满产；有研硅北京顺义基地成功开发出8英寸本征及气掺区熔硅单晶，相关产品已开始送样验证；华海清科发布2022年度业绩预告称，预计2022年营收为15.3亿元至16.95亿元，同比增长90.09%至110.59%；芯源微发布2022年年度业绩预增公告称，预计2022年年度实现营业收入13亿元到14.2亿元，新签订单规模同比大幅增长；上海精测半导体研发总部落成，同时第100台半导体前道量检测设备交付。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：

（校对/韩秀荣）