【一周招/中标】上海积塔新增设备招标22台，中微半导体新增中标设备3台，盛美半导体新增中标设备2台

集微网消息，本周，上海积塔新增设备招标22台，华虹半导体新增设备招标13台，积海半导体新增设备招标2台，华力集成新增设备招标1台；北方华创新增中标设备9台，精测半导体新增中标设备5台，中微半导体新增中标设备3台，盛美半导体新增中标设备2台，拓荆科技新增中标设备2台，华海清科新增中标设备2台，中科飞测新增中标设备2台，晶盛机电新增中标设备1台。

重要招标数据：

本周招标39台设备，其中，刻蚀设备18台，薄膜沉积7台，热处理5台，清洗设备1台，其他设备8台。

重要中标数据：

本周中标40台设备，其中，刻蚀设备4台，薄膜沉积2台，工艺检测8台、CMP 4台、热处理6台，清洗设备3台，其他设备13台。

本周重点企业动态：

近日，晶盛机电于浙江设立半导体设备公司，注册资本1000万元；万业企业在接受机构调研时表示，公司应从内生增长上发力，在外延式并购上寻找机会；盛美半导体举行设备研发与制造中心A厂房封顶仪式；应用材料将参与韩国化工材料公司SKC旗下芯片玻璃基板制造商Absolics的增资入股项目。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：

（校对/韩秀荣）