【变革】复享光学用深度光谱技术推动光与电的变革；华润微电子重庆12英寸晶圆制造生产线及先进功率封测基地实现通线

来源:集微网发布时间:2022-12-311852浏览

这个角逐激烈的赛道上，诞生于高校实验室的国内企业复享光学正异军突起，凭借在深度光谱技术领域的积累，为等离子体刻蚀终点检测、缺陷检测、光学量测等环节带来了高效的解决方案。去年，集微网曾在2021年IC World展会上对复享光学进行过一次详细的专访，而今年再次相逢在展会上，这个光学领域的创新者又会给我们带来什么惊喜呢？集微网记者采访到了复享光学首席发展官章炜毅，围绕复享光学的本次参展、在半导体领域的定位及发展、以及未来的战略规划等焦点话题，进行了专访解答。

2022 IC World复享光学展台

两大重磅方案来袭

“我们今年主推的产品是ZURO系列光谱仪”，章炜毅告诉集微网，这是专为刻蚀应用场景所研发的光谱仪，关键性能指标已经达到了国际大厂旗舰级产品的水平。

刻蚀是半导体晶圆制造中的三大关键步骤之一，其先进程度决定着晶圆厂生产高级制程产品的能力和芯片的最终性能。刻蚀工艺中需要实时监控晶圆上镀膜的厚度、均匀性，还要确定刻蚀的终点，这些都可以通过光谱仪来实现。

复享光学推出的ZURO系列光谱仪匹配了半导体行业标准，满足针对金属刻蚀、单多晶硅刻蚀、化合物刻蚀及高速清洗等多个应用场景需求，具有信号精准、性能长期稳定、Fab生产环境适应等特点。

除具备高灵敏、高信噪比等优势外，ZURO系列的单帧采集最大动态范围可突破40000:1，优于同类国外产品，能够有效提取深孔和多晶硅刻蚀过程中的弱信号。章炜毅指出这个特性非常重要，如果产品性能不够优秀，是绝不可能捕捉到这种微弱的信号。

此外，复享光学为ZURO系列光谱仪配备了专门的软件——ideaEPD。该软件是一款由复享光学深入客户应用开发的Fab工艺专用软件，支持自定义终点算法、工艺终点分析、高速采样监控、刻蚀深度监控等功能，能实现多达10台腔体的同时监控。

复享光学携ZURO光谱仪亮相2022 IC World

“ZURO系列目前有两个型号，高端的性能可对标国际大厂旗舰产品，另一款配置较低，但可以满足现在通用的刻蚀场景。”章炜毅表示，配合ideaEPD软件，ZURO系列实现了覆盖面最广的产品阵列，这在国内也尚属首次。

“为了能让ZURO系列具有优异的表现，复享光学在开发过程中与客户不断进行性能的打磨，对关键参数反复进行硬件调校，使其能满足6、8、12英寸制程刻蚀工艺的不同要求。”章炜毅表示，复享光学已完成ZURO系列产品的国产验证与量产准备，能为客户进行差异化的定制开发，解决头部客户的关键光学零部件供应安全问题。

除了推出针对核心工艺的解决方案，复享光学还带来了针对光子芯片、AR/VR等领域的光学检测系统AR-Meta。

AR-Meta是复享光学面向超构透镜检测的旗舰产品。超构透镜是随着微纳制程工艺的进步和超构表面的研究发展而诞生的一种新型透镜，突破了原有材料的物理极限。它由微米或纳米结构单元有效排列组成，具有平面化、小型化、集成化等优势，被视为下一代光学模组的核心元件。

2019年，复享光学从超构透镜的设计原理出发，对其光学检测过程开展系统性的分析，在“上海市优秀技术带头人”项目的支持下，开发了第一代AR-Meta光学检测系统，并成功推向市场。经过四年的技术迭代，AR-Meta实现了对三维光场和相位分布全方位的光学检测，并已形成面向前沿科学研究和晶圆级检测的系列产品，构建了“超构透镜光学检测的智能化平台”。

章炜毅指出，AR-Meta平台的开发是复享光学在光子芯片领域布局的一环，其定位就是要成为光子芯片检测的仪器标准，为优化超构透镜的设计、加工工艺提供关键支撑。

深度融入产业链

复享光学深耕微纳光电子领域十年，发展智能化全光谱技术，着力于光子学与人工智能的融合，形成了国际领先的深度光谱技术平台，向市场提供从技术到产品，从模块到系统的全面解决方案。本次推出的两大重磅解决方案，也标志着复享光学在将技术积累与微纳制造产业相结合的征途上又更进了一步。

复享光学初入半导体行业时的定位是只做半导体设备的核心零部件供应商，只是在与行业联系愈发紧密之后，才走上了升级之路。“头部客户不断提出更严格的要求，不断给与鼓励，硬是把我们从一个模组厂商变成了解决方案厂商。”章炜毅称，正是在行业需求的倒逼之下，复享光学实现了从硬件到解决方案的升级，不仅收获了客户的极大信任，也大幅提升了自身的能力。

“在2022年，我们做的很重要的一件事就是改进了生产管理体系和人员组织架构，完全匹配了半导体行业的标准。”章炜毅指出，复享光学还进一步扩充了产能，即使头部客户在同一时间点密集下单，也不会对交付造成风险。

同产业链的深入接触还带来难得的新机遇，复享光学发现光谱检测在半导体生产中有更多用武之地，“在光刻工艺中，要实现对光源的监控，离不开光谱检测；在薄膜沉积中，需要对等离子体进行光谱监控；在高温退火工艺中，需要非接触的光谱测温；另外，在湿法制程里，也需要对液体浓度成份进行光谱监控。”

这也让复享光学坚定了信心，要配合设备厂商解决各类芯片制程工艺控制中的量检测核心问题，为实现半导体产业的全链突破保驾护航。

章炜毅表示，复享光学在过去的一年稳扎稳打，实现了两个“全”的目标。首先是全覆盖，对半导体工艺中的所有光谱应用场景全面摸底，完成了认知的升级，上述的应用都是在这个过程中被发掘出来的。第二是全接触，对供应链的头部设备厂商全面接触，并且陆续获得客户的积极反馈，逐渐展开深入合作。

自2017年开始进入半导体产业，从早期的技术摸索到当前的产业应用落地，复享光学更加了解这个行业，并逐渐深入产业，成为了这个行业不可或缺的一员。

成就更大梦想

复享光学在2022年走过的路，也是国产半导体设备行业发展的一个缩影。在认清了目标和局面之后，整个行业正在急起直追。

在亲自参与到半导体设备国产化的进程中后，复享光学也有了更深刻的认识。“我们观察到国产化有两个重要趋势，一是从以往简单的零部件替换逐渐提升到对复杂的关键部件的替换，像光学零部件就是其中的一部分。”章炜毅说：“另外一个趋势就是，从简单的应急平替逐步转变为性能超越或者差异化的实现。”

章炜毅特别指出，“大家都开始冷静地思考，什么是自己真正想要的，国产化不能只是简单的平替，最终还是要找到自己的出路。”

随着制程精度的推进，中国半导体要在制造上实现持续的突破，检测的比重将进一步扩大，检测的精度也将大幅度提升。正是在这种背景下，有着更高维度的、由算法驱动的深度光谱技术，开始取代传统的光学技术，成为行业所关注的焦点。

因此，复享光学一方面为客户提供设备和技术支持，以获得解决方案在晶圆产线上的长期稳定性验证，另一方面，则是不断与客户去开发新的应用场景，以深度光谱技术解决不同应用场景的检测诉求。例如，2021年，复享光学下属的上海微纳制程智能检测工程中心关注到韩国百层3D NAND进展，深入研究其中的薄膜厚度检测难点，在国际知名光学期刊Light: Advanced Manufacturing上发表文章，首次提出薄膜神经网络，为百层3D NAND量测技术提供了新思路。

不过，复享光学并不满足于此。“在国产化进程中与顶尖的国外同行去对标，这点是不会改变的，但是对标本身并不会创造出第二家伟大的企业”，章炜毅表示，“复享光学希望能走出属于自己的特色之路。”

2.华润微电子重庆12英寸晶圆制造生产线及先进功率封测基地实现通线
集微网消息，12月29日，华润微电子重庆12英寸晶圆制造生产线以及先进功率封测基地实现通线。

图源：华润微电子功率器件事业群
华润微电子重庆12英寸晶圆制造生产线项目总投资75.5亿元，项目建成后预计将形成月产3-3.5万片12英寸中高端功率半导体晶圆生产能力，并配套建设12英寸外延及薄片工艺能力。从项目公司注册成立，仅用18个月即实现包括中低压沟槽SGT MOS、高压超结SJ MOS在内的四个产品平台全部通线，项目进入产品投产流通与产能建设上量并行阶段。
华润微电子先进功率封测基地项目，是华润微电子布局的中高端功率封装项目，致力于打造聚焦于汽车电子和工控市场、国内工艺全面、技术先进、规模领先的功率半导体专用封测工厂，包括模块级、晶圆级、框架级、面板级多条封装测试生产线。项目2021年11月正式开工；今年7月，先进功率封测基地成功实现主体封顶；12月22日，首颗中低压SGT功率器件PDFN 3.3产品顺利产出，良率99.5%，各项指标满足产品规范，项目成功通线。

3.上海精测半导体首台明场缺陷检测设备和首台高速Driver ATE设备交付客户
集微网消息，近日，上海精测半导体子公司上海精积微半导体首台明场缺陷检测设备BFI-100E和首台高速Driver ATE设备J-Metron 6101正式交付客户。

图源：上海精测半导体
上海精测半导体消息称，此次推出的BFI-100E采用BFI系列通用技术平台，搭载宽波段高亮度激光等离子体光源、大数值孔径物镜系统、高精度大带宽自动对焦系统、高速扫描相机、高精密多轴主动减震工件台、整机控制软件和图像处理算法软件，可全自动检测芯片前道制造中各类关键制程的缺陷。
此次推出的J-Metron 6101是专为LCD/OLED Driver IC提供CP和FT测试方案的ATE（半导体自动测试）设备。J-Metron 6101由主机和测试头组成，结合其先进的高速测试技术，为高分辨率面板DDI提供最佳量产测试解决方案。
上海精积微半导体技术有限公司成立于2021年5月12日，由上海精测半导体技术有限公司投资新建，公司集研发、设计、制造和销售于一体，主要产品包括有图形晶圆缺陷检测设备和面向各类芯片的电学检测设备。

4.中兴通讯董事长李自学新年致辞：2023年主力产品竞争力力争第一

集微网消息，12月30日，中兴通讯董事长李自学发表2023年新年致辞。
李自学表示，2022年，中兴通讯坚持固本拓新，国内和国际两大市场均实现稳健增长。运营商网络、政企和消费者三大业务营业收入均实现同比增长，同时以“服务器及存储、终端、5G行业应用、汽车电子、数字能源”等为代表的创新业务保持快速增长。
展望2023年，李自学指出，我们志存高远，保持稳健增长，不断挑战自我，勇于突破天花板。我们坚持关键领域技术领先，主力产品竞争力力争第一。
以下是致辞全文：
一元复始，万象更新。值此新年来临之际，我谨代表公司，向过去一年中为中兴事业辛勤耕耘的员工、背后倾力支持的家属，以及长期以来关心支持中兴通讯的全球客户、合作伙伴、投资者和社会各界人士致以诚挚的问候和感谢！
2022年是公司战略超越期的开局之年。回顾这一年，外部环境依然严峻，新冠疫情反复延宕，地缘政治错综复杂，全球经济下行压力增大。
艰难方显勇毅，磨砺始得玉成，面对种种不确定性给企业经营带来的多重挑战，我们牢牢把握全球数字化和绿色低碳化发展趋势，沿着既定战略路线稳步发展，坚持将最难的事做到最好，持续加大研发投入，不断提升关键技术及产品核心竞争力。
坚持固本拓新，国内和国际两大市场均实现稳健增长。运营商网络、政企和消费者三大业务营业收入均实现同比增长，同时以“服务器及存储、终端、5G行业应用、汽车电子、数字能源”等为代表的创新业务保持快速增长。
这一年，在风雨兼程中，全体中兴人披荆斩棘，锐意进取，为公司超越期的顺利开局打下坚实基础。
展望未来，外部环境将更加变幻莫测，数字经济已经成为全球各国促进经济复苏，重塑竞争优势的关键力量，发展大势不可逆转。
中兴通讯致力于成为数字经济筑路者，我们要保持战略定力，抓住算力、新能源、数字化的产业转型机遇，为战略超越期目标的达成而不懈奋进。
2023年，我们志存高远，保持稳健增长，不断挑战自我，勇于突破天花板。我们坚持关键领域技术领先，主力产品竞争力力争第一。
在运营商领域，国内市场要坚定提升市场占有率，不断提升客户服务能力，全面助力运营商战略转型及可持续发展；海外市场要坚持聚焦提效，稳健经营，围绕大国大T大网实现有效突破。
在政企领域，聚焦互联网、金融、电力、交通等高价值行业和客户，聚焦服务器及存储、传输等主流产品及方案，坚定合作拓优，确保高速增长。
在消费者领域，稳健发展，加强差异化创新，不断提升产品体验。同时，加大创新业务拓展力度，聚焦资源快速实现单点破局。
2023年，我们更要脚踏实地，坚持“精准务实”。要想在愈加严峻的挑战下实现超越，必须居安思危，未雨绸缪，增强资源约束意识，在业务精准定位的基础上进行资源精准投放，保持财务指标健康和弹性，持续增强企业韧性，防患于未然，同时敢于正视自身不足并努力改进，实现有质量的增长。
打铁还需自身硬。面对更具挑战的外部环境，我们要进一步固化和提升基础能力，完善风险管控体系。主动识别合规风险，注重事前预防，系统性地构筑企业风险防护网；进一步强化内控管理，营造风清气正的氛围；深化数字变革，不断提升运营效率；强化组织能力和体系协同，支撑公司长远发展。
浩渺行无极，扬帆但信风。面对未来可能遇到的种种考验，希望全体中兴人拿出不畏艰险的勇气，开拓进取，踔厉奋发，以咬定青山不放松的执着稳步向前，实现公司和员工的共同发展，开创战略超越期的崭新局面！
祝大家新年快乐，身体健康，阖家幸福！

5.深圳市集成电路产业规划有望近期发布，目标2025年产业营收突破2500亿元

集微网消息，综合国内媒体报道，12月29日，深圳市科创委等领导在出席2022中国（深圳）集成电路峰会时介绍，《深圳市培育发展半导体与集成电路产业集群行动计划（2022-2025）》征求意见中，预计近期将正式发布。
据悉，《规划》提出以南山、福田、宝安、龙华、龙岗、坪山6个区为重点发展对象，形成“东部硅基、西部化合物、中部设计”全市一盘棋的空间布局，计划2025年产业营收突破2500亿元。
据统计，2022年深圳市集成电路营收约1578.4亿元，同比下降约6.6%，其中，设计、制造环节同比下降，而材料销售收入同比增长17.5%。
此外，据深圳市统计局官网发布最新统计数据显示，1-11月深圳市电子及通信设备制造投资增长27.1%，信息传输、软件和信息技术服务业投资增长37.1%。

6.加载“艾为芯”，全球首款5G游戏掌机锋刃更锐！

Razer（雷蛇）是全球领先的玩家生活方式潮流品牌。其三头蛇徽标是全球游戏及电竞领域最广为人知的LOGO之一。粉丝遍布各大洲的Razer设计并打造了全球最大的专为玩家提供硬件、软件和服务的一体化生态系统。近期，Razer联手全球领先的无线科技创新品牌高通以及美国老牌运营商Verizon推出全球首款专门5G游戏设备——雷蛇锋刃游戏掌机（Razer Edge 5G）。
Razer Edge 5G
作为世界首款专门5G游戏设备，Razer Edge 5G有诸多优势：
☆原生适配数千个AAA游戏，随时随地无限制地访问游戏资源，同时保证远程使用、内容兼容以及使用体验
☆先进的6.8英寸AMOLED显示屏，144hz刷新率，2400x1080 FHD+分辨率，像素比竞争产品高87%
☆骁龙® G3x Gen 1 Gaming Platform，拥有3Ghz八核Kryo CPU和Adreno GPU，行业领先的图形处理能力
☆与新的Razer Kishi V2 Pro捆绑使用，实现真正的主机级控制度
☆5000mAh容量电池，持久作战
☆提供Wi-Fi或Verizon 5G版本（目前仅面向美国市场提供）
据悉，Verizon为Razer Edge 5G提供“超宽带网络”支持，其中涵盖了中频C波段和5G毫米波，高通则为这款掌机带来了强劲的“心脏”——骁龙G3x Gen1。而在设备的音质和触感方面，Razer Edge 5G采用了艾为“神仙组合”及艾为Haptic软硬件系统解决方案，以给终端游戏玩家带来更沉浸式的音频和触感游戏体验。
艾为“神仙组合”音频解决方案
Razer Edge 5G采用的艾为“神仙组合”音频解决方案主要包括艾为Digital Smart K系列高端音频功放产品和艾为“神仙算法”awinicSKTune®，带来震撼听音体验。

Digital Smart K系列是艾为推出的重量级音频IC产品，数字I²S/TDM接口，引入IV反馈、Smart Boost、低噪声等众多旗舰功能，同时可搭配神仙算法awinicSKTune®，软件、硬件、算法、调试多维度组合，用极致音质俘获用户的“芯”。
此外，艾为Digital Smart K系列音频功放内置Smart Boost技术，可有效改善播放功耗，提升通话时长；全新的NG技术，极大地降低了底噪，提供更加纯净的声音体验。其还采用了工艺性能更高、核心面积更小，具备更出色电性参数的90nm BCD工艺。
艾为Digital Smart K特性一览
☆全面支持各类平台（满足QCOM/MTK/SPRD等多平台使用）
☆全面支持“神仙算法”awinicSKTune（全自主开发，满足算法级调试需求）
☆全面支持中高端项目需求（有竞争力的性能、解决方案、调试服务）
新一代“神仙算法”awinicSKTune®V6拥有AI声场环绕(ASS)、AI齿音自动抑制(ASR)、自动清晰度控制(ASC)等多种创新特色，使用户轻松坠入澎湃的音乐海洋中。

AI声场环绕(ASS)更强的现场感与包围感
☆采用先进的机器学习方式，智能识别人声及伴奏信号
☆分策略处理，人声得到增强，伴奏得到拓宽
☆有效提高人声与伴奏的纵深度和宽广度，带来“声”临其境的体验

AI声场环绕引入机器识别技术，分策略处理人声和伴奏声，全方位提升声音的纵深感和空间感，能为全频带声音带来饱满的能量，中高频声音得到显著提升，即使听众在不同的方位，都可以获得响度大、范围广、氛围好的听觉享受，仿佛置身于音乐的中央。
视频场景有了ASS-AI声场拓展算法的加持，用户可以轻松地从声音中分辨出不同的空间成分，仿佛声音漫布在四周，每一个细胞都随音乐律动，带来非凡的沉浸感。
AI齿音自动抑制(ASR)更好的舒适度与穿透力
☆AI智能识别，精准去除尖锐齿音
☆时域频域多维度精准判断
☆声音更悦耳，更有穿透力

awinicSKTune®V6 AI齿音自动抑制算法可以动态检测识别出齿音与乐器信号，针对齿音进行实时检测和优化，保留了更多的声音细节，使得听感更加均衡明亮。
自动清晰度控制(ASC)更优的层次感与纯净感
☆自动检测声音信号中的人声、鼓声等元素
☆进行不同声音元素之间的重组，处理多余成分
☆显著提高声音的清晰度，还原更纯净的声音体验
新一代“神仙算法”awinicSKTune®V6针对微型扬声器因非线性失真等因素带来的浑浊感的难题，通过自动清晰度控制算法处理，可以让电影中各个声音元素都独立呈现，以高清晰度和丰富的层次感呈现更多细节，在听歌、游戏、观影时，无限贴近用户喜爱的场景，感受音符的纯粹和灵动。
艾为Haptic解决方案
在触觉反馈方面，艾为一直坚持创新理念，不断为市场带来更优秀、更极致的触觉反馈IC产品，为用户提供Haptic软硬件一体化解决方案。目前，已有超过3亿台设备搭载了艾为Haptic芯片。
艾为Haptic产品已经形成了高压Boost、无电感升压和常压系列，应用简单，具有丰富的效果空间，可实现闭环硬件控制，能让马达发挥理想效果，快速响应。继手机、穿戴电子设备方面触觉反馈产品普及之后，艾为在元宇宙、游戏手柄、NB Trackpad、车载智能表面领域也推出更丰富的芯片产品和应用方案。
艾为高压触觉反馈驱动特性一览
☆TSMC 90BCD 12寸晶圆，TSMC首批alpha客户
☆4.5W驱动能力，瞬态响应能力相较上代提升30%
☆响应速度低至1毫秒，启停周期在20毫秒内
☆100~1000Hz宽频振动
☆11v/8kB Sram，支持AAE闭环控制，精确控制每次振动效果的一致性
☆搭配艾为自研awinicTikTap®雷振子4D游戏算法，AI引擎智能识别游戏场景
艾为即将发布业界超小尺寸触觉反馈驱动IC，敬请期待

艾为awinicTikTap®雷振子4D算法通过实时提取音频信息特征，对特征进行映射转换为马达振动参数，下发传递给haptic驱动芯片从而驱动宽频线性马达。
awinicTikTap®雷振子4D算法特性一览
☆通用性强，适配不同型号马达
☆开放性场景随音振动
☆不同音量等级下振感一致
☆支持振感强度自定义
☆支持双马达立体振动效果
☆适配宽频马达（50-500Hz），效果丰富细腻
☆占用蓝牙传输带宽小

在多年的创新积累过程中，艾为人除了专注硬核艾为“芯”的研发打磨，也为之匹配了系列软件算法，以最大化发挥芯片本身的硬件能力。神仙算法awinicSKTune®、awinicTikTap®雷振子4D算法、磐石防抖算法、大禹防水算法等多款自研算法的诞生，让“有形”芯片和“无形”算法组合，可以更好地在解决客户痛点的基础上，实现产品的差异化，创造出独特的价值，为终端用户带来更出色的使用体验。

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