【中标】总金额近5000万元！北方华创中标北京大学刻蚀、薄膜沉积等设备采购项目

集微网消息，12月20日，北京大学公布多项设备采购项目中标结果，包括北京大学集成电路学院原子层沉积设备采购项目、北京大学集成电路学院四管扩散炉采购项目、北京大学集成电路学院磁控溅射台（金属）采购项目、北京大学集成电路学院等离子增强原子层沉积设备采购项目、北京大学集成电路学院高密度等离子刻蚀系统采购项目、北京大学集成电路学院高密度等离子刻蚀机（Poly Si）采购项目、北京大学等离子增强化学气相淀积系统采购项目。

据悉，以上项目中标人均为北京北方华创微电子装备有限公司。其中，原子层沉积设备采购项目，中标金额395万元，涉及标的物2套原子层沉积设备；四管扩散炉采购项目，中标金额435万元，涉及标的物2套四管扩散炉；磁控溅射台（金属）采购项目，中标金额598.8万元，涉及标的物2套磁控溅射台（金属）；等离子增强原子层沉积设备采购项目，中标金额495万元，涉及标的物1套等离子增强原子层沉积设备；高密度等离子刻蚀系统采购项目，中标金额1295万元，涉及标的物2套高密度等离子刻蚀；高密度等离子刻蚀机（Poly Si）采购项目，中标金额598万元，涉及标的物1套高密度等离子刻蚀机 ；等离子增强化学气相淀积系统采购项目，中标金额1095万元，涉及标的物1套等离子增强化学气相淀积系统。（校对/韩秀荣）