美国粒子监测系统公司推出10 nm凝结核粒子计数器

NanoAir 10是美国粒子监测系统公司（PMS）推出的一款革命性新型凝结核纳米粒子计数器，具有凝结核粒子计数器（CPC）的灵敏度和准确性，以及传统洁净室粒子计数器的易用性和功能性。它专为监测超洁净环境而设计，在2.8升/每分钟（0.1立方英尺/每分钟）的采样流速下，可实现10纳米检测灵敏度。

新型NanoAir 10的尺寸比竞争产品小83%，使其可用于超洁净环境下的任何地方，甚至可在半导体制程机台和设备前端模块（EFEM）内部使用。创新的工作流体处理系统稳健高效，可实现全年、全天候连续运行，无需维护或任何形式的用户干预，因此减少了采样和数据收集时的中断及制程机台停工时间。此外，NanoAir在选配PMS的HPD-III高压扩散器后，与高压气体兼容，数据可通过PMS Facility Net设备监测软件予以查看、分析和报送，或直接传输到第三方的监控和数据采集（SCADA）系统或作为制程机台输入值。

配套提供ParticleSeeker™分流产品，其搭载10个端口，支持按顺序或编程顺序监测多个采样位置的应用场景。

“只有我们美国粒子监测系统公司提供10纳米专用凝结核粒子计数器，专门设计用于最关键的晶圆厂空间，现在的应用也包括监控加工工具内部微型环境。”该公司全球电子产品线经理Isidro Sanchez说，“NanoAir 10非常紧凑的外形和配套的ParticleSeeker智能歧管，如今为电子制造商和气体供应商，在以前很难到达的区域，提供了监测凝结核颗粒的能力，这些凝结核颗粒最小可达10纳米。NanoAir从实际上扩展了我们可靠和创新的凝结核产品线的范围，为我们的客户提高了产量和良率。”