盛美上海：ALD设备将于2023年验证完成 镀铜设备出货量大增

12月5日，半导体清洗设备企业盛美上海披露投资者关系记录表，盛美上海表示，目前，公司已有1台ECP、3台PR清洗设备及1台单片清洗设备交付国际客户在中国的FAB厂，两台单片兆声波清洗设备已经交付美国头部客户，调试工作进行顺利。国际销售团队正在积极开拓中国台湾，韩国，欧洲大客户。

盛美上海主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。盛美上海的ALD设备在今年九月份已经交付客户，正在验证中，估计将于2023年验证完成。对明年炉管设备的销售预期：高真空合金回火炉、LPCVD、高温氧化扩散炉以及ALD都有重复及新客户订单，期待明年是炉管设备销售的爆发增长年。

盛美上海称，今年，公司的镀铜设备销售的很好，出货量较去年大幅增长。主要是获得一家前道客户的大量订单以及一家封装客户的10台批量订单。在客户导入方面，今年公司获得一家台资企业的重复订单。整体来看，预计明年公司镀铜设备仍会保持快速增长。

据了解，过去盛美上海的清洗设备只有单片，从2019年盛美上海槽式清洗设备开始贡献收入。去年十月份，公司单片清洗设备累计达到了2000腔的出货量，今年十一月份单片清洗设备累计达到了3000腔的出货量，在一年多点的时间内，公司单片设备增长迅速。同时，今年公司槽式设备对清洗设备的订单总量有贡献，所以从相对比例来看，清洗设备整体销售量的所占比例并没有下降，还是维持在70%左右。

在先进制程领域主要使用单片设备。具体来看，在45纳米及以上，槽式设备占比80%左右，单片占比20%左右；在28纳米及以下则由槽式转向单片，此时单片占比到80%左右，槽式为20%左右。盛美上海指出，目前来看，国内的成熟制程的产线依旧保持扩张，在未来3-5年内公司坚定的看好国内45纳米和28纳米制程的发展。同时，公司在28纳米和45纳米制成程均有产品出售，未来增长空间可期。

此外，盛美上海认为，受到经济大环境下行影响，先进封装市场需求有所放缓，由此导致公司在该市场的增长放慢。但预计随着经济的恢复，封装市场需求一定会增长起来。公司在封装设备布局是比较全面的。同时，公司在国内、国际市场都有独特地位，拥有一站式销售优势且产品齐全，具备较强的市场竞争优势。

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