直击股东大会｜至纯科技：抢占先机，提前布局投入14nm和7nm湿法设备

集微网消息，12月5日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（证券代码：603690，证券简称：至纯科技）召开了2022年第四次临时股东大会，就《关于修订<独立董事工作制度>的议案》、《关于修订<关联交易决策制度>的议案》、《关于修订<股东大会议事规则>的议案》等多项非累积和累积投票议案进行了审议，爱集微作为机构股东参与此次会议，并对全部议案投出赞成票。

会后，爱集微就至纯科技最新的业务拓展情况和公司董事长蒋渊、财务总监陆磊等公司高管进行了交流。

至纯科技主营业务主要包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。

提前布局，抢占先机

之前，至纯科技在互动平台表示，公司三季度半导体设备的产能正在按今年的扩产计划逐步提高中，预计年底产能可达150台，而且公司之前公开财报显示在先进制程的28纳米节点获得全部工艺的设备订单；在14纳米以下制程也拿到了4台湿法设备订单。

就14纳米以下制程的布局情况，陆磊表示：“28nm现在国内下游是有量产机会的，那么14nm跟7nm现在还处于一个比较偏验证线或实验线的阶段，我们公司现14nm和7nm在做一些技术的投入，有部分在下游验证阶段。我们主要考虑到，未来三年左右国内应该会有个别客户突破到先进制成领域，如果我们现在在基础线或者时间线上的设备通过验证，会在那个阶段有一个很好的一个先发优势。”

再生晶圆业务明年实现目标

另外，至纯科技之前表示，公司晶圆再生业务因受疫情影响验证周期延长3个月，目前正处在给客户流片验证阶段，今年会有部分收入贡献。爱集微对公司晶圆再生业务做了进一步问询，陆磊表示：“我们晶圆再生原本计划是今年第二季度会完成验证，但是受到了疫情的影响，现在基本上递延了6-7个月，特别是工厂验证。我们预计Q4晶圆再生有一个小规模的营收，然后希望明年能够继续实现今年本身的目标，我们预计明年大概有差不多3.5万片到4.5万片之间的产能目标。”

嘉定工厂客户导入情况良好

公司财报之前曾显示，大宗气嘉定工厂2022年初顺利供气，为首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂。公司董事长蒋渊对此表示：“年初时候已经供气了，目前也运行了一段时间了，客户导入非常平稳，很多都是15年左右的长订单。”

除此之外，至纯科技还表示，公司湿法设备视产品功能及复杂程度，目前交期为6-9个月，集成业务视工程量大小交期为1-2年不等。公司存货的增加主要系一方面全球半导体相关材料持续供给紧张，为了保证后续业务增长所需的材料供给，公司加大了原材料的备货；另一方面，公司业务订单持续创历史新高，随着在手订单数量增加和执行进度的增加，对应的未完工项目存货相应增长。（校对/陈兴华）