一滴水改变了全球半导体高端制程发展！一文认识浸润式微影之父

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来源：经济日报（台）

中国台湾清华大学半导体学院院长林本坚技术底子雄厚，当年他以「水」作为介质，发展浸润式（Immersion）微影技术，用一滴水改变了全球半导体高端制程发展，不仅奠定台积电与台湾地区半导体领先地位，也为早年规模仍相对小的艾司摩尔（ASML）开启新契机。

林本坚并串起艾司摩尔与台积电的合作，艾司摩尔掌握关键技术后，成为台积电发展先进制程的一大助力。如今，他从台积电回到校园，协助台湾地区培育半导体人才，要为台湾地区半导体产业界奠定更深厚的基石。

2014年，时任台积电研发副总经理的林本坚，当选中研院首位来自产业的院士。原因是他早在2002年即提出，以水作为介质的浸润式微影技术，让原本遇到发展瓶颈的半导体制程，能顺利推进65纳米以下世代，奠定台积电日后得以超越IBM、英特尔，并甩开三星等劲敌的不败地位，林本坚也因此被半导体业界誉为「浸润式微影之父」。

林本坚1942年出生于越南的华侨家庭，1959年以侨生身分插班进入新竹中学高三，毕业后凭借实力，不靠侨生加分优惠就考上台大电机系。台大毕业后留学美国，1970年取得俄亥俄州立大学电机工程学博士，曾任IBM研发部经理，1992年在美创立领创公司，2000年应当时主掌台积电研发的「蒋爸」蒋尚义之邀，返台加入台积电，2015年以研发副总经理职务退休。

林本坚的浸润式微影技术堪称撼动全球半导体业发展，台积电创办人张忠谋在林本坚的退休晚会上直言：「假如没有你和你所建立的团队，台积电的微影不会有今天这规模。」肯定他在职15年中对台积电的卓越贡献。

台积电研发六骑士(由今周刊摄影自2003年，由左至右)：林本坚博士、杨光磊博士、时任研发副总蒋尚义、孙元成博士、梁孟松博士、余振华博士。

艾司摩尔总裁布林克接受媒体专访时也透露，如果没有极紫外光微影（EUV）技术，摩尔定律可能更早就结束；而浸润式微影技术更「是个奇迹」。浸润式显影技术出现后，不仅改变了半导体曝光技术生态，也促成台积电与艾司摩尔各自拉开与同业差距。

关注人才与技术培育的林本坚，自台积电退休后转任台湾清华大学特聘研究讲座教授，兼任台积电—清华联合研发中心主任，同时于2021年出任清华半导体研究学院院长，展开他坚信培育具备「创新突破动力的领导人才」的使命。

清华半导体学院在台清交成四大名校中，最大亮点就是请来林本坚出任院长。在清华及林本坚的号召下，国内外12家居领导地位的企业为清华半导体学院挹注经费与师资，包括台积电、力积电、欣兴、世界先进、东京威力科创、美光、南亚科技、环球晶、联电、联发科、联咏、敦泰及国发基金的相应支持。

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