三星首次引进本土生产的EUV光刻胶

集微网消息，据据ETNews消息，三星电子将一家韩国公司开发的用于高科技工艺的极紫外 (EUV) 光刻胶引入其量产生产线。这是由于2019年日本出口相关法规，经过三年的本地化努力后的结果。

三星电子被发现将东进世美肯半导体光刻胶用于其半导体工艺（层）线之一。去年该企业的光刻胶通过三星电子的可靠性测试后不到一年就应用于量产线。一条工艺线只是三星电子整个工艺中非常小的一部分。但是，由于它是一种完全不依赖进口的产品，因此具有特殊的意义。

东进2020年聘任ASML Korea前CEO Young-sun Kim为副会长，为进军EUV光刻胶业务打下基础。去年初，他们通过确保额外的 EUV 光刻胶人员来加速产品开发。

由于三星将该产品用于实际的半导体生产，东进成为第一家将EUV光刻胶国产化至量产水平的公司。

三星电子是否会从东进引入额外的EUV光刻胶仍未确定。这是因为要考虑的因素很多，比如与海外供应商的关系，三星电子尚未确认东进半导体产品用于哪种工艺。（校对/周宇哲）