除ASML之外的光刻机厂商们近况如何？

来源:电子发烧友网发布时间:2022-11-24579浏览

电子发烧友网报道（文/周凯扬）尽管ASML作为目前占据主导地位的光刻机厂商，凭借独有的EUV光刻机一骑绝尘，主导着半数以上的市场份额，但这并不代表着其他光刻机厂商也就“听天由命”了。以两大国外光刻机厂商尼康和佳能为例，他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务。

尼康

尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机，基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机。其中最新的NSR-S635E为ArF浸没式扫描光刻机，可以做到小于等于38nm的分辨率，1.35的数值孔径和大于275晶圆/小时的吞吐量。

NSR-S635E光刻机 / 尼康虽然这样的机器在分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距，但已经足以覆盖不少成熟工艺的晶圆制造，以及部分次先进节点的辅助制造了。而在去年的SPIE先进光刻机技术会议上，尼康展示了名为双光束EUV光刻技术。虽然仍在概念阶段，但从论文上看基于该技术打造的光刻系统可以做到10nm的分辨率，0.4的数值孔径和200晶圆/小时以上的吞吐量，这样的参数甚至可以与ASML正在制造的高NA EUV光刻机一较高下了。不过要想造出这样的机器光有概念可不够，与之相关的元件与设备生态都得建立起来才行。从尼康最新季度的财报来看，由于工厂建设的投入被推迟，FPD光刻系统市场有所下滑，所以销量有所降低，上季度只卖出了6台FPD光刻机，6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机。由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求，所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势，目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题，只是在交付上有所推迟。所以哪怕是半导体市场有些许低迷，尼康也并没有任何订单因此被取消。值得一提的是，虽然尼康本身目前并没有生产EUV光刻机，却有为EUV系统生产光学组件的。不过与EUV光刻机本身一样，EUV的光学组件拥有极长的交期。除EUV系统以外，一些先进测量设备、先进封装设备用到的光学组件同样是高附加值、长交货周期的产品，即便半导体市场增速减缓，也不太会受到设备厂商资本支出变化的影响。

佳能

对于佳能来说，光刻机业务隶属于他们的工业与其他事业部，除了光刻机以外还有贴片机等设备。但从具体数额看来，佳能的主要营收来源还是他们的印刷和影像部门，包括打印机、数码相机等等，从2021年的年报来看，两部门分别贡献了55.2%和18.6%的营收。

FPA-6300ES6a光刻机 / 佳能佳能与尼康一样，同样拥有影像和光刻机两大业务，但在光刻机上，佳能的主要产品是i线和KrF光刻机，其中主打高分辨率高产量的KrF扫描光刻机FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨率。虽然分辨率不高，但佳能正在以纳米压印技术打造下一代nm级的光刻机，以该技术打造的光刻系统制造成本将比EUV低40%，同时将运行功耗90%。不过这类设备目前仍在研发中，从目前已经展示的结果来看，还只能做到10nm工艺的图形化。而今年的第三季度，佳能的光刻系统营收相较去年同比增长了22.9%，达到645亿日元，主要来自50台半导体光刻机、15台FPD光刻机的销量。佳能预计将在今年卖出180台半导体光刻机，52台FPD光刻机。在财报中，佳能指出，2022年的半导体设备市场中，虽然存储市场有所下滑，但功率设备和逻辑设备的需求依然在强劲增长。与此同时，佳能计划在宇都宫扩建一座新的光刻机工厂，用于加倍产能，进一步扩大在半导体光刻机市场的份额。至于面板市场，由于全球通胀和经济下行等原因，PC、电视和智能手机的销量下滑，全球市场相较去年会有所下滑。但佳能认为，从中长期角度来看，被用于各种产品中的OLED面板势必会带来显著的增长。不过佳能面临的处境还是组件短缺和客户延迟工厂建设，所以部分FPD光刻机的交付都被推迟到了明年。