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来源:芯榜+发布时间:2022-10-11814浏览
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半导体量检测设备主要用于在半导体制造过程中检测芯片性能与缺陷。几乎每一步主要工艺完成后都需要在整个生产过程中进行实时的监测,以确保产品质量的可控性,对保证产品质量起到关键性的作用。前道量检测设备注重过程工艺监控,几乎运用在每一道制造工序中。
根据功能的不同分为两种设备:一是量测类,二是缺陷检测类。1)量测类设备:主要用来测量透明薄膜厚度、不透明薄膜厚度、膜应力、掺杂浓度、关键尺寸、套准精度等指标,对应的设备分为椭偏仪、四探针、原子力显微镜、CD-SEM、OCD 设备、薄膜量测等。2)缺陷检测类设备:用来检测晶圆表面的缺陷,分为明/暗场光学图形图片缺陷检测设备、无图形表面检测设备、宏观缺陷检测设备等。

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