【中标】北方华创中标创芯集成3台设备

集微网消息，9月8日，浙江创芯集成电路有限公司设备采购项目中标结果公示，中标人为北京北方华创微电子装备有限公司（以下简称“北方华创”），标的物为3台设备，分别是1台掺杂多晶硅退火立式炉管、1台多晶硅刻蚀系统加腔体、1台铝溅射沉积系统加腔体。

8月23日，北方华创中标松山湖材料实验室深Si刻蚀设备采购项目1台深Si刻蚀设备，中标金额400万元；8月30日，西安电子科技大学ICP刻蚀设备采购项目2台ICP刻蚀设备，中标金额519.6万元。

北方华创官方消息显示，在刻蚀领域，2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线；2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机；2022年8月12日，北方华创发布CCP介质刻蚀机，已在5家客户完成验证并实现量产。至此，北方华创实现刻蚀工艺全覆盖。（较对/赵碧莹）