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来源:李沛发布时间:2022-09-081427浏览
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集微网消息,全球主要碳化硅外延片厂商之一昭和电工日前宣布,该公司8英寸碳化硅外延片样品开始出货。
根据公司声明,昭和电工自2021年开始全面研发8英寸碳化硅晶圆,该外延片是使用该公司自产碳化硅单晶衬底制备而成,自产衬底可确保该公司建立稳定的外延片供货能力。
昭和电工方面还表示,该公司将围绕2030年实现碳化硅衬底、外延片缺陷密度降低一个数量级的目标,持续推动技术研发。
(校对/武守哲)
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