【中标】北方华创中标西安电子科技大学2台ICP刻蚀设备

集微网消息，8月30日，西安电子科技大学ICP刻蚀设备采购中标结果公示。中标人为北京北方华创微电子装备有限公司（以下简称“北方华创”），中标金额：519.6万元，标的物为2台ICP刻蚀设备。

招标平台信息显示，8月23日，北方华创中标湖北江城芯片中试服务有限公司电子设备采购项目1台高密度等离子体刻蚀机和福建省福联集成电路有限公司2022年第二批次电感耦合等离子蚀刻机设备采购项目1台电感耦合等离子蚀刻机。

北方华创官方消息显示，在刻蚀领域，2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线；2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机；2022年8月12日，北方华创发布CCP介质刻蚀机，已在5家客户完成验证并实现量产。至此，北方华创实现刻蚀工艺全覆盖。（校对/赵碧莹）