至纯科技H1扣非净利润同比增长128% 半导体制程设备新增订单8.06亿元

集微网报道8月30日，至纯科技发布半年度报告称，2022年上半年，公司实现营业收入为11.2亿元，同比增长21.67%；归母净利润0.81亿元，同比下降45.92%；扣非净利润0.97亿元，同比增长128.12%。

上半年，至纯科技新增订单总额为23.62亿元，同比增长37.33%，其中半导体制程设备新增订单8.06亿元。

至纯科技指出，上半年国内疫情反复，尤其公司总部所在地上海遭遇两个半月疫情管控的背景下，公司积极配合疫情防控部门的管理举措，为上海市经信委首批复工复产白名单企业。公司由管理层带领全体员工砥砺前行，取得了进一步发展。公司在年初定下的年度新增订单40亿元的目标未因受疫情扰动而改变，截至2022年6月30日，公司新增订单总额超过23亿，为实现全年订单目标奠定了好的基础。

在布局的板块中，半导体板块是近年至纯科技经营上配置资源的重点，也是目前增长最快的业务板块。在半导体板块，公司基于能力圈战略布局了制程设备、支持设备及系统集成、电子材料和专业服务四大类产品和服务，业务贯穿半导体领域用户的建厂扩厂、成熟运营以及技术升级等全生命周期。

2022年，至纯科技在半导体制程设备领域业务持续发力，继续在已有用户端得到重复订单，并继续开拓新用户。上半年制程设备新增订单 8.06 亿元，同比增长 87.44%，实现收入 4.66 亿元，同比增长 73.09%，毛利率提升 11.21 个百分比达 35.11%。公司湿法设备的用户已经覆盖国内主流晶圆制造企业，在每家用户处的阶段也都从验证和初次的订单，随着交付逐步展开到已验证工艺机台的重复订单。受益于下游行业的需求，公司制程设备业务将继续保持高速增长，公司也将继续倾斜资源供给，打造产品线更广的制程设备业务板块。

而公司制程设备的新增订单目标为20亿元，依然保持 50%以上的高速增长，市场需求和公司产品的优势完全支持完成该目标，公司管理层将带领事业部总经理和全体事业部成员达成该目标。订单的效率交付也是公司在供应链受扰的背景下的巨大挑战。2021-2022 年，在全球元器件及零部件层面供应链交期延长，供需格局日渐严峻的背景下，公司管理层全力投入战斗，强化培养国内供应链策略，分阶段分步骤地开拓和扶持国内供应链，保障公司产品的生产及交付时间，加强公司制程设备板块持续盈利能力。

经过多年来持续高投入的研发及技术积累，至纯科技覆盖多领域全工艺湿法设备供应商的定位愈发清晰，在集成电路及泛半导体领域均取得顺利进展。集成电路领域面向逻辑、存储和特殊工艺均有优良成绩。

逻辑领域，至纯科技已先后取得国内主流逻辑芯片制造企业的批量订单；存储领域，已陆续获得国内主要客户的订单及验证机会；公司目前拳头产品包括 SPM、晶背清洗等机型在下游核心关键工序段均得到第一梯队客户的广泛认可，并获得持续订单。特殊工艺领域，公司在第三代化合物半导体产线的成绩也是令人欣喜，公司湿法设备可覆盖第三代半导体晶圆制造全工序段，截至公告日，国内头部几大第三代化合物半导体生产企业已累计向公司订购相关湿法设备接近 40 台。

至纯科技认为，在集成电路领域，公司已成熟机型正快速进入用户产线，面对用户往更先进制程发展的必然趋势，公司已陆续在今年度交付 4 台 14 纳米以下制程的设备，并且 14 纳米以下制程的其他工艺机台的研发也在进一步有序开展。

另外，在泛半导体领域，公司与光伏、面板等行业主流客户（均为公司在高纯工艺系统长期信任的用户）开展湿法设备的深度合作，并且在近期拿到了 N 型电池生产线的湿法设备订单，预计于第三季度交付。

除了半导体制程设备业务高速增长，以支持设备为主的高纯工艺系统业务也保持持续增长，订单创出同期新高。其中气体及化学品设备国产替代进展顺利，已经成为主流集成电路制造用户的认定品牌且出货量陡增。上海工厂虽受疫情影响有效率损失，但全面复产后的全力追赶基本填补疫情的产能损失，启东工厂完成设备制造爬坡，已实现满产，为今年度饱和订单的交付提供了条件。前驱体设备和研磨液等设备的国产替代也取得良好进展，已经在重要用户端陆续交付使用。

至纯科技表示，2022 年上半年主要客户订单保持持续增长，核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。随着支持设备扩产计划顺利完成，未来几年公司有信心获得更多下游客户的订单。该业务板块已经形成行业领头羊的竞争优势，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局，公司将继续加强打造包括技术优势、制造优势、供应链优势等壁垒，持续在国内市场保持领先。

而大宗气嘉定工厂年初顺利供气，指标完全达标，生产稳定，逐步爬坡。该大宗气体工厂为首座完全国产化的 12 英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂，兼具意义和经济价值。

（校对/李杭森）