新签订单同比大幅增长，芯源微上半年净利润同比增长97.91%

集微网消息，8月25日，芯源微公布2022年半年度报告，报告期营业收入5.04亿元，同比增长43.70%；归属于上市公司股东的净利润6940.67万元，同比增长97.91%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润6578.28万元，同比增长122.41%；基本每股收益0.82元。

对于业绩变动的原因，芯源微指出，主要原因是半导体行业景气度持续向好，同时公司产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长。

报告期内，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平。前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平。

公司在前道涂胶显影机的高产能架构方面也取得相应进展，高产能架构平台应用完全自主知识产权的创新平台，通过工艺单元双侧对称布置及机械手双侧同时取片，满足光刻机不断提升的产能需求。高产能架构平台将作为公司未来前道涂胶显影设备的通用性基础平台，覆盖浸没式等前沿光刻技术并向下兼容，应用场景广泛。

随着芯源微前道涂胶显影机各项技术的突破与进步，前道涂胶显影机产品竞争力不断增强，客户认可度持续提升。报告期内，公司offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售，前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中公司I-line、KrF涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单。

公司生产的前道涂胶显影设备已陆续获得了中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯绍兴、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单。

据芯源微透露，公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用物理清洗机SpinScrubber设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，报告期内陆续获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升。

公司生产的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备部分技术已领先于国际知名企业，目前作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。报告期内，公司陆续获得了多家封装厂商的批量重复订单。公司将在未来加大力度持续开拓中国台湾以及海外市场。

芯源微称，公司生产的小尺寸涂胶显影设备与单片式湿法设备，可覆盖化合物、MEMS、LED等多个领域，目前作为主流机型已批量应用于三安集成、中芯宁波、中电科集团、士兰明镓、华灿光电、江西兆驰、东莞中图、乾照光电、北京赛微等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。公司作为国内化合物龙头三安集成的主力供应商，在市场开拓中不断延伸，报告期内进一步巩固市场优势地位。

（校对/李正操）