【中标】东京电子中标上海华力接触孔等离子体刻蚀设备采购项目

集微网消息，招标平台信息显示，8月16日，上海华力微电子有限公司（以下简称“上海华力”）接触孔等离子体刻蚀设备采购项目中标结果公示，中标人为Tokyo Electron Limited（东京电子），标的物为1台接触孔等离子体刻蚀设备。

官方消息显示，上海华力成立于2010年，隶属于华虹集团，拥有先进的工艺制程和完备的解决方案，工艺技术覆盖65/55纳米、40纳米和28/22纳米技术节点，在上海建有上海华力微电子有限公司（华虹五厂）、上海华力集成电路制造有限公司（华虹六厂）两座12英寸全自动晶圆厂。华虹五厂是中国大陆第一条12英寸全自动集成电路芯片制造生产线，月产能3.8万片；华虹六厂设计月产能4万片，于2018年10月建成投片。

此前招标平台信息显示，5月10日，上海华力多晶硅等离子体刻蚀机采购项目中标结果公示，中标人为Lam Research International Sdn. Bhd.，中标货物为1台多晶硅等离子体刻蚀机。（校对/姜羽桐）