至纯科技：联合中标2.76亿元长江存储公司国家存储器基地项目气体系统包

8月3日，至纯科技公告，近日，公司和全资子公司上海至纯系统集成有限公司、至纯科技有限公司作为联合体牵头人，中标长江存储科技有限责任公司国家存储器基地项目特殊气体系统包，中标价格为2.76亿元。

据了解，标的主要内容为各类工艺气体（含用于氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积等干法工艺）的特气设备，即工艺支持性设备，标的包含设计、安装和调试等服务。

公开资料显示，至纯科技成立于2000年，于2017年1月上市，公司的主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售，广泛应用于半导体、微电子、生物医药、光伏、光纤、TFT-LCD、LED等领域。

官方资料显示，2017年子公司更名设立了至纯集成作为高纯工艺业务经营和发展主体，随后，该公司投资设立至微科技作为湿法设备事业部研发生产销售主体，此外2020年该公司投资成立至一科技作为先进工艺材料业务经营和发展主体。

发展至今，至纯科技的在半导体制程设备领域有了较大突破，目前其主要生产前道工艺设备中的湿法设备，包含槽式湿法设备及单片式湿法设备，所部署的技术路线目前可覆盖国内产线成熟工艺及先进工艺所涉及的全部湿法工艺。此外，至纯科技在高纯气化设备领域中进展顺利，其中气体及化学品支持设备业务国产替代进展顺利，每年交付的各类设备超过5000台套。另外值得一提的是，公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线。该项目以14纳米晶圆厂需求为设计基础，年产168万片再生晶圆和120万件半导体再生零部件。

据至纯科技财报数据显示，2021年公司新增订单总额为32.30亿元，同比增长64.80%，其中半导体设备新增订单11.20亿元，同比增长111.32%。此外今年一季报至纯科技公司主营收入5.48亿元，同比上升136.98%。恰逢半导体设备发展黄金期，至纯科技近两年合同负债与存货持续增长，2021年至纯科技合同负债与存货分别为2.40亿元和11.95亿元，创历史新高，这也代表着该公司在手订单规模不断扩大，今年该公司的新增订单目标为超过40亿元。

封面图片来源：拍信网