拟募资10亿扩大产能，微导纳米IPO成功过会

8月1日，据科创板上市委2022年第65次审议会议结果显示，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称：微导纳米）科创板IPO成功过会。

据悉，微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

应用场景方面，微导纳米的产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节，随后又开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，目前已先后获得多家知名半导体公司的商业订单，并实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。

微导纳米还与多家国内半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等合作，针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领域研发试制新型ALD设备。

除了光伏和半导体领域外，微导纳米还拓展了柔性电子等其他领域的应用。

2019年-2021年，微导纳米分别实现营业收入21,581.56万元、31,255.41万元、42,791.71万元。其中，专用设备是其最大的营收来源。据悉，微导纳米的专用设备产品主要包括ALD设备、PECVD设备、PEALD二合一平台设备，其销售收入的具体情况如下表所示：

可以看出，微导纳米的专用设备以ALD设备为主，但2021年ALD设备销售规模和占比有所降低。对此，微导纳米指出，主要原因是光伏电池行业在2020-2021年处于由PERC向新型高效电池技术转变的过渡期，下游厂商扩产和采购节奏短期调整，同时公司在此期间推出PECVD设备、PEALD二合一平台设备等新产品，导致当期订单结构有所变化。

微导纳米还表示，随着TOPCon等新型高效电池技术路线确定、成熟度提高，截至本招股说明书签署日（2022年7月20日），作为公司专用设备中的核心产品，公司ALD设备在2022年新签订单数量已超过2021年全年镀膜设备订单数量总和，同比大幅增长。

本次申请在科创板上市，微导纳米拟募资10亿，投向以下项目：

其中，“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”拟基于公司现有ALD设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏、柔性电子的ALD设备，新增年产120台ALD设备的生产能力；

“基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目”拟基于公司现有ALD设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的ALD设备，新增年产40套ALD设备；

“集成电路高端装备产业化应用中心项目”的建设则可以推动基于ALD技术的集成电路高端制造装备产业化应用。