长江存储、华力、华虹：三大晶圆厂招标数据曝光

据中信证券测算，选取范围内的三座典型晶圆厂设备国产化率总体在17%左右，随供应链本土化趋势的发展，未来国产化率有望实现阶跃式提升。在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司持续有业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型企业。

长江存储、华力集成、华虹无锡三座晶圆厂招投标国产设备份额统计明细（2016~2022年）

据测算，2021年中国大陆厂商营收体量在全球市场占比仅约2.5%。从我们选取的长江存储、华力集成、华虹无锡三座典型晶圆厂招投标数据来看，美国设备厂商份额在4~5成，日本厂商份额3成左右，国产份额2成左右，国产设备份额呈现明显上升趋势。

（1）去胶：国产化率约74%（据我们测算，下同），屹唐股份、盛美上海等位于国内前列；
（2）清洗设备：国产化率约38%，盛美上海设备中标数量仅次于日本迪恩士，至纯科技、北方华创、芯源微等亦为国产替代主力，各家产品类型有所区别；
（3）氧化扩散/热处理设备：国产化率约28%，北方华创、屹唐股份、盛美上海中标设备数量靠前；
（4）刻蚀设备：国产化率约22%，中微公司、北方华创、屹唐股份分列国内前三；
（5）化学机械抛光：国产化率约23%，华海清科为国内细分龙头；
（6）薄膜沉积：国产化率约5.7%，拓荆科技、北方华创、盛美上海中标设备数量靠前；
（7）过程控制：国产化率约3.6%，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国内领先；
（8）离子注入：国产化率约3.1%，烁科中科信是为数不多获得采购的国产厂商，凯世通半导体亦为国产化主力；
（9）光刻机：国产化率约1.1%，基本由荷兰厂商阿斯麦垄断，国内上海微电子实现零突破；
（10）涂胶显影：国产化率约1%，日本东京电子领先，国内芯源微实现零突破。总体而言，国内设备厂商在设备品类、工艺覆盖率方面仍存在较大提升空间，美国制裁中国厂商事件已经激发国内厂商的供应链安全意识，国内晶圆厂有望加快供应链本土化，我们预计国产设备厂商接下来1~2年有望受益国产设备份额的阶跃式提升。

目录

中国大陆晶圆厂进展：行业扩产持续，2022H1已披露完成设备招标478台.................. 6

设备厂商中标更新：各厂商中标结果陆续释出，国产替代有望加快...............................10

设备国别比较：美日设备占比最高，国产占比呈显著上升趋势...................................... 11

设备类型比较：薄膜沉积、过程控制、离子注入、涂胶显影等尚有较大替代空间.........17

1、刻蚀：国产化率22%，中微公司、北方华创、屹唐股份三强崛起............................18

2、薄膜沉积：国产化率5.7%，拓荆科技、北方华创、盛美上海为国产前三强.............22

3、过程控制：国产化率3.6%，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国内领先.........25

4、氧化扩散/热处理设备：国产化率28%，北方华创优势较为明显...............................27

5、清洗：国产化率38%，盛美上海中标设备数量国产最多，仅次于日本迪恩士..........30

6、去胶：国产化率74%，屹唐股份、盛美上海国产入围..............................................34

7、化学机械抛光：国产化率23%，华海清科为国内细分龙头.......................................37

8、离子注入：国产化率3.1%，烁科中科信国产获采购.................................................40

9、涂胶显影：国产化率1%，芯源微实现国产零突破....................................................42

10、光刻：国产化率1.1%，阿斯麦绝对垄断，上海微实现国产零突破.........................43

风险因素.........................................................................................................................44

总结：测算三座晶圆厂设备国产化率总体在17%左右，坚定看好设备国产替代趋势....44

插图目录

图1：全球半导体设备市场规模........................................................................................ 7

图2：中国半导体设备市场规模及在全球市场占比........................................................... 7

图3：中国大陆半导体生产线分布图（2020年4月）..................................................... 8

图4：长江存储近五年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

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图5：长江存储近五年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

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图6：华力集成近六年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

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图7：华力集成近六年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

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图8：华虹无锡近四年部分设备招标项目累计数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

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图9：华虹无锡近四年历年部分设备招标项目数量占比（按供应商总部国家/地区统计）

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图10：长江存储2017~2022年设备招标各厂商中标项目数量排名...............................15

图11：华力集成2016~2022年设备招标各厂商中标项目数量排名................................16

图12：华虹无锡2018~2022年设备招标各厂商中标项目数量排名...............................16

图13：晶圆厂半导体制造流程及相关半导体设备示意图................................................17

图14：2021年半导体设备各细分类型市场销售额占比..................................................17

图15：长江存储2017~2022设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计............................18

图16：华力集成2016~2022设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计............................20

图17：华虹无锡2018~2022设备招标刻蚀设备各厂商中标数量合计............................21

图18：长江存储2017~2022设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计....................22

图19：华力集成2016~2022设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计....................23

图20：华虹无锡2018~2022设备招标薄膜沉积设备各厂商中标数量合计....................24

图21：长江存储2017~2022设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计....................25

图22：华力集成2016~2022设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计....................26

图23：华虹无锡2018~2022设备招标过程控制设备各厂商中标数量合计....................26

图24：长江存储2017~2022设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计........27

图25：华力集成2016~2022设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计........29

图26：华虹无锡2018~2022设备招标氧化扩散/热处理设备各厂商中标数量合计........29

图27：长江存储2017~2022设备招标清洗设备各厂商中标数量合计............................31

图28：华力集成2016~2022设备招标清洗设备各厂商中标数量合计............................32

图29：华虹无锡2018~2022设备招标清洗设备各厂商中标数量合计............................33

图30：长江存储2017~2022设备招标去胶设备各厂商中标数量合计............................34

图31：华力集成2016~2022设备招标去胶设备各厂商中标数量合计............................36

图32：华虹无锡2018~2022设备招标去胶设备各厂商中标数量合计............................36

图33：长江存储2017~2022设备招标化学机械抛光设备各厂商中标数量合计.............37

图34：华力集成2016~2022设备招标化学机械抛光设备各厂商中标数量合计.............39

图35：华虹无锡2018~2022设备招标化学机械抛光设备各厂商中标数量合计.............39

图36：长江存储2017~2022设备招标离子注入设备各厂商中标数量合计....................40

图37：华力集成2016~2022设备招标离子注入设备各厂商中标数量合计....................41

图38：华虹无锡2018~2022设备招标离子注入设备各厂商中标数量合计....................41

图39：长江存储2017~2022设备招标涂胶显影设备各厂商中标数量合计....................42

图40：华力集成2016~2022设备招标涂胶显影设备各厂商中标数量合计....................42

图41：华虹无锡2018~2022设备招标涂胶显影设备各厂商中标数量合计....................43

图42：长江存储2017~2022设备招标光刻设备各厂商中标数量合计............................43

图43：华力集成2016~2022招标光刻设备各厂商中标数量合计...................................44

图44：华虹无锡2018~2022招标光刻设备各厂商中标数量合计...................................44

图45：三座晶圆厂招投标设备合计国产化率排序（2016~2022）.................................45

图46：三座晶圆厂招投标设备各自国产化率对比（2016~2022）.................................45

表格目录

表1：2022年1~6月部分国内晶圆厂工艺设备完成招标情况概览................................... 8

表2：国内部分半导体设备厂商情况...............................................................................10

表3：部分国内半导体工艺设备中标情况概览................................................................ 11

表4：全球半导体设备厂商排名......................................................................................12

表5：长江存储2017~2022设备招标国产刻蚀设备明细................................................18

表6：华力集成2016~2022设备招标国产刻蚀设备明细................................................20

表7：华虹无锡2018~2022设备招标国产刻蚀设备明细................................................21

表8：长江存储2017~2022设备招标国产薄膜沉积设备明细.........................................22

表9：华力集成2016~2022设备招标国产薄膜沉积设备明细.........................................23

表10：华虹无锡2018~2022设备招标国产薄膜沉积设备明细......................................24

表11：长江存储2017~2022设备招标国产过程控制设备明细.......................................25

表12：华力集成2016~2022设备招标国产过程控制设备明细......................................26

表13：华虹无锡2018~2022设备招标国产过程控制设备明细......................................26

表14：长江存储2017~2022设备招标国产氧化扩散/热处理设备明细...........................27

表15：华力集成2016~2022设备招标国产氧化扩散/热处理设备明细...........................29

表16：华虹无锡2018~2022设备招标国产氧化扩散/热处理设备明细...........................30

表17：长江存储2017~2022设备招标国产清洗设备明细..............................................31

表18：华力集成2016~2022设备招标国产清洗设备明细..............................................32

表19：华虹无锡2018~2022设备招标国产清洗设备明细..............................................33

表20：长江存储2017~2022设备招标国产去胶设备明细..............................................35

表21：华力集成2016~2022设备招标国产去胶设备明细..............................................36

表22：华虹无锡2018~2022设备招标国产去胶设备明细..............................................37

表23：长江存储2017~2022设备招标国产化学机械抛光设备明细...............................38

表24：华力集成2016~2022设备招标国产化学机械抛光设备明细...............................39

表25：华虹无锡2018~2022设备招标国产化学机械抛光设备明细...............................39

表26：华力集成2016~2022设备招标国产离子注入设备明细......................................41

表27：华虹无锡2018~2022设备招标国产离子注入设备明细......................................41

表28：华力集成2016~2022设备招标国产涂胶显影设备明细......................................42

表29：长江存储2017~2022设备招标国产去胶设备明细..............................................43

表30：长江存储、华力集成、华虹无锡三座晶圆厂招投标国产设备份额统计明细

（2016~2022年）..........................................................................................................4