住友化学在韩生产EUV光阻剂 日本出口管制副作用？

2019年日本政府对韩国祭出出口管制措施后，日本半导体材料、零组件、设备业者为了避开本国政策限制，供应最大客户之一的三星电子(Samsung Electronics)及SK海力士(SK Hynix)，反而开始于韩国设置生产、研发据点，日本半导体材料业者住友化学(Sumitomo Chemical)便是一例。

根据韩媒首尔经济报导，住友化学于韩国全罗北道益山市成立的子公司Dongwoo Fine-Chem，日前正式开始出货EUV光阻剂，传将供应三星。此前住友化学于2021年9月宣布，将投资100亿日圆(约7,662万美元)于韩国设置尖端光阻剂设备，时隔8个月后于2022年5月成功在韩国生产EUV光阻剂，并举行纪念出货仪式。

近年三星、SK海力士、台积电、英特尔(Intel)等半导体大厂为了生产高端芯片导入EUV技术，不过EUV制程的核心材料仍由日本主导，目前全球EUV光阻剂市场中，日本业者市占率高达约90%。因此，日本政府于2019年限制EUV光阻剂等半导体核心材料出口韩国时，曾让三星一度面临危机。

不过，日本业者实际上也受到出口管制的影响，由于三星、SK海力士等皆为半导体材料的主要客户之一，为了确保营收稳定，各日本业者反而开始规划在韩国当地生产，并投入研究开发。住友化学在韩国首度生产EUV光阻剂后，则有助于韩国强化本国半导体材料供应链、降低海外依赖度。

除了住友化学，东京应化工业(TOK)在更早之前便开始于韩国仁川松岛生产EUV光阻剂及氟化氩(ArF)、氟化氪(KrF)光阻剂等，目前信越化学工业(Shin-Etsu Chemical)也有意于TOK的松岛工厂投入OEM代工。

日本设备业者也开始在韩国投资设置研发据点，此前东京威力科创(TEL)宣布韩国2,000亿韩元(约1.6亿美元)研发中心的投资，有望加速供应三星定制化的半导体设备。随着日厂扩大在韩国投资，日媒也指出日本对韩国的出口管制，有造成反效果的隐忧。

责任编辑：陈至娴