又是清华系！58台设备撑起一个半导体IPO，国资系股东云集，中芯系已入股

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转新财富

6月8日，国产化学机械抛光（CMP）设备龙头大厂华海清科（688120）正式在科创板挂牌上市，开盘价235元/股，大涨近72%。截至收盘，华海清科收于224.1元/股，上涨63.98%。

高价股。 

6月8日，华海清科成功登陆科创板，发行价为136.66元/股。华海清科开盘价为235元/股，涨幅达70%，开盘后总市值近250亿元。若按照首日上午盘中最高价格计算，中一签华海清科浮盈达到5.5万元。

华海清科背后的掌舵人是CMP领域顶级专家路新春。历经数年发展，华海清科主营业务为CMP（Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光）设备，是目前国内唯一一家能够提供半导体12英寸CMP商业机型的厂商。

国家02专项总师叶甜春在上市仪式上评价道，华海清科作为CMP设备供应商，不仅打入了晶圆产线，还成为了晶圆厂的主力供应商，为国产半导体的自主可控做出了较大贡献。

华海清科公司CMP设备已累计出货58台，在手订单35台，设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。

01

清华大学教授离岗创业

华海清科的创业故事还要从三位清华大学教授说起，路新春、雒建斌和朱煜。

路新春是国内CMP领域顶级专家，早在2000年，路新春便开启了对CMP的基础研究。 

他先是在清华大学攻读机械工程博士后同时担任讲师。2003年起，他开始在清华大学担任精密仪器与机械学系教授兼首席研究员。

华海清科还有一名灵魂人物——雒建斌，他是摩擦学专家，中国科学院院士，同时也是清华大学精密仪器与机械学系长江学者特聘教授、博士生导师。与路新春同一年，办理了离岗创业手续。

此外，另一位重磅“技术咖”朱煜2001年到清华大学进修博士后，从2004年至2021年在清华大学执教16年，是机械工程系长聘教授。同时，朱煜也是国产“光刻机第一股”（上市委会议阶段）华卓精科公司实际控制人及首席科学家。

2013年4月，清华大学与天津市政府达成合作意向，同意将CMP相关部分核心技术成果进行科技成果转化，华海清科应运而生，路新春成为公司董事长兼首席科学家。

作为国内半导体被“卡脖子”的领域，CMP设备是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺。目前全球CMP设备市场处于高度垄断状态，美国应用材料和日本荏原两家设备制造商合计占据超90%的市场份额。

华海清科成为巨头夹缝中的国产突围者。

经过八年努力，2021年10月陆新春团队研制出国内首台12英寸CMP装备及系列产品，而华海清科也成为目前国内唯一能够实现量产12英寸CMP设备的高端半导体专业设备供应商。

毫无疑问，华海清科在CMP领域取得关键性突破，最大优势是核心技术人员具有多年专业技术领域研究经验。

除了路新春、雒建斌和朱煜三位教授之外，研发总监王同庆，技术总监赵德文等主要研发人员也均来自清华大学。

华海清科建立起了224人的研发团队，占到员工总数比例的三分之一。近三年累计研发投入占各期营收的比例平均17%，总体略高于行业平均水平。

华海清科还曾获国家企业技术中心、国家制造业单项冠军示范企业、国家级专精特新“小巨人”企业、中国机械工业科学技术发明特等奖等奖励及荣誉。

02

国资系股东云集，中芯系已入股

IPO前，清华大学持有清华控股100%股权，实际控制公司3007万股的股份，占公司总股本的37.58%，为公司实际控制人。

值得关注的是，2022年4月18日，清华大学与四川省国资委及四川能投签订了《关于<国有产权无偿划转协议>之补充协议》。若本次股权无偿划转及重组完成后，四川能投将成为公司的间接控股股东，四川省国资委将成为公司的实际控制人。

截至招股说明书签署日，公司国有股东包括清控创投、科海投资、国开科创，其持股数量及持股比例如下表所示：

在递交招股书前一年，华海清科新增股东包括国投基金、天津领睿、国开科创、金浦国调、金浦新兴、浙创投、青岛民芯、大成汇彩、石溪资本、中芯海河、水木愿景、武汉建芯、融创租赁和金浦新潮共14家投资机构。

在众多机构青睐下，华海清科的估值也较为乐观。根据发行公告，华海清科本次发行价格136.66元/股，以2021年的净利润数据为基准进行计算，公司扣非前和扣非后的静态市盈率分别为73.62倍和127.90倍。可比上市公司如下：

华海清科的实际控制人清华大学在创立华海清科之后，一直都是以知识产权入股的，华海清科在研发与技术方面，与实际控制人清华大学也一直是密不可分。

招股书显示，清华大学拥有摩擦学国家重点实验室，可以为华海清科CMP设备的技术升级改造提供探索性理论研究，因此华海清科自成立以来于清华大学在CMP领域开展了产学研合作，主要由公司负责项目应用和产业化开发，清华大学负责为研发项目涉及的基础机理进行实验室研究。报告期内，华海清科就与清华大学开展了4项合作研发项目，并向清华大学支付前期研究费用。截至2021年12月31日，华海清科共拥有209项专利，其中107项系与清华大学共有。

报告期内，公司与清华大学合作项目之一为“14-7nm化学机械抛光（CMP）样机研制及工艺研发”，协议期限为2017年12月20日至2019年9月30日。招股书披露，这一合作项目在清华大学交付了原理研究平台及相关测试报告，公司累计向清华大学支付474万元研发费用后，双方协商一致，样机开发工作改由公司独立完成。由于清华大学仅完成理论研究，而未涉及样机研制，因此公司支付的474万元理应计入研发费用。然而，研发费用明细显示，2017年至2020年，“14-7nm化学机械抛光（CMP）样机研制及工艺研发”项目研发费用分别为0万元、0万元、5.51万元、154.91万元，合计仅160.42万元。

华海清科与实际控制人清华大学存在较多的共同研发、共享专利，以及多名高管在清华大学任职，这也意味着华海清科独立研发的能力较弱。

此外，还有前面提及的最高达7成销售收入来自关联交易方长江存储和华虹集团。其中，长江存储也是清华大学间接控股的企业。

除了显性关联关系带来的销售收入以外，华海清科还有主要客户的高管大多毕业于公司实际控制人相关的清华大学，如2020年第四大客户睿力集成电路有限公司及其子公司长鑫存储技术有限公司（以下简称“长鑫存储”）。朱一明原为兆易创新董事长、总经理，2018年7月辞去总经理职务并就任长鑫存储董事长、首席执行官。据兆易创新招股书披露，朱一明曾在清华大学就读本科、硕士，而且兆易创新的两位独立董事王志华和梁上上均为清华大学教授。

另外，有媒体发现，就连华海清科本次发行的保荐代表人也可能来自清华大学。2009-2010学年度普通高等学校国家奖学金获奖学生初审名单中的一个名字引起了外界注意，就是来自清华大学机械系、机械工程专业的裴文斐。巧合的是，华海清科的保荐代表人也叫裴文斐。

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03

 打破国外垄断，已拿下国内CMP设备市场12.64%份额

目前，华海清科已经成为国产12英寸和8英寸CMP设备的主要供应商。公司的主要客户如华虹集团、长江存储、中芯国际、厦门联芯等都属于行业内地位较高的下游厂商。

近年来，华海清科发展迅速。2021年，公司业绩迎来大爆发，实现营收8.05亿元，同比增长108.58%，归母净利润1.98亿元，同比增长102.76%。预计2022年上半年总销售额5.5-7亿元，同比87%-138%；扣非净利润1-1.2亿元，同比增长189%-247%。

由于集成电路制造行业属于资本和技术密集型，国内外主要集成电路制造商均呈现经营规模大、数量少的行业特征，公司下游客户所处行业的集中度较高。

2019-2021年，公司对关联方长江存储和华虹集团的关联销售占比较高。具体销售收入及占比情况如下：

单位：万元

华海清科与长江存储、华虹集团的关系还不止于此。

招股书显示，长江存储为紫光集团有限公司（清华控股持股51%）第七级控股子公司，清华大学持有清华控股100%股权。2018年，长江存储牵头组建了国家级先进存储产业创新中心长存创新。其中，华海清科持股1.15%。

另外，华海清科还持有上集创新5.88%的股权。上海集成电路研发中心有限公司直接持有上集创新58.84%的股权，为上集创新的控股股东。上海集成电路研发中心有限公司系华虹集团下属企业，最终实际控制人为上海市国有资产监督管理委员会。

半导体设备行业具有很高的技术壁垒、市场壁垒和客户准入壁垒。

华海清科于2014年成功研制出国内首台拥有核心自主知识产权12英寸CMP设备商用机型Universal-300，并取得了SEMI标准认证；2018年开始实现CMP设备量产。目前，公司的竞争对手主要为美国应用材料和日本荏原。具体对比如下：

其中，美国应用材料是半导体设备行业龙头企业，为客户提供半导体芯片制造所需的各种主要设备、软件和解决方案，2021财年实现营业收入230.63亿美元，市值超过1398亿美元。

日本荏原是一家超过百年历史的泵设备和CMP设备制造商，为东京交易所上市公司，2021年实现营业收入52.24亿美元，市值约51亿美元。

技术方面，美国应用材料和日本荏原所生产的CMP设备均已达到5nm制程工艺水平。市场占有率方面，美国应用材料和日本荏原合计拥有全球CMP设备超过90%的市场份额，我国绝大部分的高端CMP设备也主要由美国应用材料和日本荏原提供。

按照销售额统计，2021年全球CMP市场31.3亿美元，占全球WFE市场的3.6%。其中：

（1）美商AMAT的CMP销售额大幅增长，市占率66.5%，稳居市场第一；

（2）日本EbaraCMP设备销售额1036亿日元，市占率30.1%，稳居行业第二；

（3）华海清科CMP设备销售额RMB6.94亿元，市占率3.4%，行业第三。

按照SEMI统计，2018-2020年公司在中国大陆地区的CMP设备市场占有率约为1.05%、6.12%和12.64%。

04

“清华系”科创公司涌现上市潮

国产芯片和传感器产业，绕不开清华大学。

早在上世纪90年代，“清华系”产业孵化平台就从幕后走到台前。如今“清华系”相关投资机构多达50家，投出的知名企业更是不胜枚举，成为创投圈高校系“顶流”。

清华大学电子系、物理系等院系毕业生培养出一众传感器和芯片领域大佬，包括韦尔股份创始人虞仁荣、兆易创新创始人之一舒清明、格科微电子创始人赵立新、久好电子创始人刘卫东……

在科技互联网行业，清华校友张朝阳是搜狐的创始人，被誉为“中国互联网教父”，互联网圈王小川、周枫、王兴和宿华被称为“清华四杰”，现在的清华姚班，也诞生了众多AI独角兽创始人。

放眼投资圈，清华也走出了一批又一批知名投资人，如红杉资本、IDG资本、经纬中国、软银中国资本、北极光创投等大名鼎鼎的投资机构。 

其实，清华大学不仅是一家顶级学府，也是培养创业者和投资人最多的国内高校。数据显示，目前清华系投资机构近50家，培养出633 位投资人，1632 位创业者。

这些投资者和创业者构成了清华校友创投圈关系网，也让“清华系”成为中国创投版图上最耀眼的明星团体。

据了解，“清华系”投资主体主要包括省校共建、校友基金、校方机构、校企四类，且各自具有鲜明的差异化特征。

其中，省校共建研究院侧重科技孵化平台。而清华系校友基金以早期投资为主，成立了水木清华校友基金、水木资本等一众机构。此外，清华校方还通过与市场化机构合作的方式运作了清华大学教育基金会。

其实，“清华系”最主要的投资主体当属清华校企产业投资平台。它不仅是国内校企中金字塔尖般的存在，也是国内创业创新、硬科技领域的一大高地。 

IT桔子数据显示，仅清华控股投资孵化的企业就有332家，其中不少是上市公司，包括数码视讯、中文在线、海兰信等。

另外，目前清华控股旗下投资机构荷塘创投、启迪之星为代表的“启迪系”也较为活跃。

从投资方向来看，“清华系”资本最偏爱投向集成电路和芯片领域，其次是医疗器械、前沿技术。

“清华系”在创投圈如此活跃，也难怪清华学子创业者众，在各个领域大展身手。

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